[发明专利]半导体装置、pH传感器、生物传感器以及半导体装置的制造方法有效
| 申请号: | 201780036095.4 | 申请日: | 2017-07-20 |
| 公开(公告)号: | CN109314146B | 公开(公告)日: | 2022-12-27 |
| 发明(设计)人: | 中积诚;西康孝 | 申请(专利权)人: | 株式会社尼康 |
| 主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;G01N27/414 |
| 代理公司: | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人: | 庞东成;张志楠 |
| 地址: | 日本*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | 本发明提供一种半导体装置,其特征在于,该半导体装置具有第1电极、第2电极、以及与第1电极和第2电极相接的半导体层,半导体层为包含锌(Zn)和镓(Ga)的尖晶石型的氧化物。 | ||
| 搜索关键词: | 半导体 装置 ph 传感器 生物 以及 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种半导体装置,其特征在于,该半导体装置具有:第1电极,第2电极,以及与所述第1电极和所述第2电极相接的半导体层,所述半导体层为包含锌(Zn)和镓(Ga)的尖晶石型的氧化物。
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