[发明专利]半导体装置、pH传感器、生物传感器以及半导体装置的制造方法有效

专利信息
申请号: 201780036095.4 申请日: 2017-07-20
公开(公告)号: CN109314146B 公开(公告)日: 2022-12-27
发明(设计)人: 中积诚;西康孝 申请(专利权)人: 株式会社尼康
主分类号: H01L29/786 分类号: H01L29/786;G01N27/414
代理公司: 北京三友知识产权代理有限公司 11127 代理人: 庞东成;张志楠
地址: 日本*** 国省代码: 暂无信息
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摘要: 发明提供一种半导体装置,其特征在于,该半导体装置具有第1电极、第2电极、以及与第1电极和第2电极相接的半导体层,半导体层为包含锌(Zn)和镓(Ga)的尖晶石型的氧化物。
搜索关键词: 半导体 装置 ph 传感器 生物 以及 制造 方法
【主权项】:
1.一种半导体装置,其特征在于,该半导体装置具有:第1电极,第2电极,以及与所述第1电极和所述第2电极相接的半导体层,所述半导体层为包含锌(Zn)和镓(Ga)的尖晶石型的氧化物。
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