[发明专利]TFT基板、具备TFT基板的扫描天线、以及TFT基板的制造方法有效
| 申请号: | 201780035760.8 | 申请日: | 2017-06-05 |
| 公开(公告)号: | CN109314145B | 公开(公告)日: | 2021-07-13 |
| 发明(设计)人: | 美崎克纪 | 申请(专利权)人: | 夏普株式会社 |
| 主分类号: | H01L29/786 | 分类号: | H01L29/786;G02F1/13;G02F1/1368;H01Q3/34;H01Q3/44;H01Q13/22 |
| 代理公司: | 深圳市赛恩倍吉知识产权代理有限公司 44334 | 代理人: | 汪飞亚;习冬梅 |
| 地址: | 日本国大*** | 国省代码: | 暂无信息 |
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| 摘要: | TFT基板(105)是具有电介质基板(1)、排列在电介质基板上的多个天线单位区域(U)的TFT基板,该TFT基板(105)包含发送接收区域(R1)和位于发送接收区域以外的区域的非发送接收区域(R2),其中发送接收区域(R1)包含多个天线单位区域。多个天线单位区域的每一个具备:TFT(10),其被电介质基板支撑,且包含栅极电极(3)、半导体层(5)、形成于栅极电极与半导体层之间的栅极绝缘层(4)、与半导体层电连接的源极电极(7S)及漏极电极(7D)、以及贴片电极(3PE),所述贴片电极(3PE)与TFT的漏极电极电连接,贴片电极由与栅极电极相同的导电膜形成。 | ||
| 搜索关键词: | tft 基板 具备 扫描 天线 以及 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种TFT基板,其具有电介质基板、和在所述电介质基板上排列的多个天线单位区域,所述TFT基板的特征在于,包含:发送接收区域,其包含所述多个天线单位区域;以及非发送接收区域,其位于所述发送接收区域以外的区域,所述多个天线单位区域分别包括:TFT,其为被所述电介质基板支撑的TFT,所述TFT包含栅极电极、半导体层、在所述栅极电极与所述半导体层之间形成的栅极绝缘层、与所述半导体层电连接的源极电极以及漏极电极;以及贴片电极,其与所述TFT的所述漏极电极电连接,所述贴片电极由与所述栅极电极相同的导电膜形成。
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