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- [发明专利]有源矩阵基板以及具备其的X射线拍摄面板-CN201910979618.X有效
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美崎克纪
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夏普株式会社
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2019-10-15
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2023-08-08
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H01L27/146
- 本发明提供一种有源矩阵基板以及具备其的X射线拍摄面板、以及有源矩阵基板的制造方法。有源矩阵基板(1)具备TFT(13)。TFT(13)具有:栅电极(13a);半导体层(13b),其隔着栅极绝缘膜(102)而与栅电极(13a)重叠;源电极(13c),其配置于半导体层(13b)上;以及漏电极(13d)。源电极(13c)、漏电极(13d)、半导体层(13b)被第一绝缘膜(103)覆盖。栅极绝缘膜(102)在覆盖栅电极(13a)的周缘部的部分具有第一高低差部(1021)。第一绝缘膜(103)在第一高低差部(1021)处,在俯视观察时与未被源电极(13c)和漏电极(13d)覆盖的部分重叠的位置具有第一开口(103b)。
- 有源矩阵以及具备射线拍摄面板
- [发明专利]摄像面板及其制造方法-CN201780080214.6有效
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美崎克纪
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夏普株式会社
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2017-12-22
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2023-06-27
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H04N25/70
- 提供能提高生产性的X射线摄像面板及其制造方法。摄像面板(1)基于从经过了被摄体的X射线得到的闪烁光生成图像。摄像面板(1)在基板(101)上具有有源区域和端子区域。在有源区域中具备:薄膜晶体管;第1绝缘膜,其设置于薄膜晶体管之上;光电转换元件,其设置于第1绝缘膜之上;第2绝缘膜,其分开配置于光电转换元件的上层,具有接触孔;以及导电膜,其经由接触孔与上述光电转换元件连接。光电转换元件包含光电转换层,该光电转换层包含第1半导体层、本征非晶质半导体层以及第2半导体层。端子区域具备:第1导电层(100),其包括与薄膜晶体管的栅极电极或源极电极相同的材料;端子用第1绝缘膜(103),其包括与第1绝缘膜相同的材料,在第1导电层(110)的一部分之上分开设置,具有开口;端子用半导体层(1501),其设置于端子用第1绝缘膜(103)之上,包括与光电转换层的至少一部分半导体层相同的材料;以及第2导电层(1702),其设置于端子用半导体层(1501)之上,包括与上述导电膜相同的材料,在端子用第1绝缘膜(103)的开口中与第1导电层(100)连接。
- 摄像面板及其制造方法
- [发明专利]摄像面板及其制造方法-CN201880011123.1有效
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美崎克纪
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夏普株式会社
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2018-02-07
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2023-06-06
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H01L27/146
- 提供能提高生产率的X射线摄像面板及其制造方法。摄像面板(1)在基板(101)具有有源区域和端子区域。端子区域具备:第1导电层(100);端子用第1绝缘膜(103),其包括与有源区域的第1绝缘膜相同的材料,具有第1开口;第2导电层(1701),其包括与有源区域的导电膜相同的材料,在设置有第1开口的位置与第1导电层(100)重叠;以及覆盖层,其在设置有第1开口的位置配置在第1导电层(100)与第2导电层(1701)之间。第1导电层(100)包括与有源区域的薄膜晶体管的栅极电极或源极电极、以及下部电极中的任意1个元件相同的材料。覆盖层包括与有源区域的源极电极、下部电极以及偏置配线中的、相比于包括与第1导电层(100)相同的材料的元件配置在上层的至少1个元件相同的材料。
- 摄像面板及其制造方法
- [发明专利]有源矩阵基板、具备其的X射线摄像面板及其制造方法-CN201910112791.X有效
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美崎克纪
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夏普株式会社
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2019-02-13
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2023-04-07
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H01L27/146
- 本发明提供一种能够抑制由偏压配线的剥离引起的检测不良的有源矩阵基板、具备该其的X射线摄像面板及其制造方法。有源矩阵基板(1)具有配置为矩阵状的多个检测部。多个检测部中的每一个均具备:光电转换层(15);一对第一电极(14a)和第二电极(14b);保护膜(106),其覆盖光电转换层(15)的侧端部,并与第二电极(14b)的至少一部分重叠;以及偏压配线(16),其设置于光电转换层(15)的外侧,并对第二电极(14b)施加偏压。第二电极(14b)的与偏压配线(16)重叠的电极部分具有至少一个电极开口部(141h)。偏压配线(16)在光电转换层(15)的外侧与第二电极(14b)的电极部分接触,同时,在电极开口部(141h)中与保护膜(106)接触。
- 有源矩阵具备射线摄像面板及其制造方法
- [发明专利]有源矩阵基板及其制造方法-CN201880042329.0有效
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美崎克纪
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夏普株式会社
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2018-06-26
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2023-03-24
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H01L27/146
- 一种具有像素区域的有源矩阵基板,具备:端子部(P2);保护环(P4);以及连接部(P3),其连接端子部(P2)和保护环(P4)。像素区域、端子部(P2)以及保护环(P4)具有:第1金属膜(231);第1导电层(13s),其层叠有电阻比第1金属膜(231)的电阻低的第2金属膜(232、233);第1保护层(103),其配置成与第1导电层(13s)的至少一部分重叠;以及第2保护层(105),其配置于第1保护层(103)之上。像素区域具有设置于第1保护层的上层的第2导电层。连接部(P2)具有第1金属膜(231)和配置于第1金属膜(231)之上的第2保护层(105)。端子部(P2)和保护环(P4)中的第1导电层(13s)的连接部侧的端部配置于比第1保护层(103)的连接部侧的端部靠内侧的位置。第2导电层(141)和第2金属膜(232、233)包含能用相同的蚀刻液进行蚀刻的材料。
- 有源矩阵及其制造方法
- [发明专利]有源矩阵基板以及具备其的X射线拍摄面板-CN201911116965.6有效
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美崎克纪
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夏普株式会社
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2019-11-15
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2023-02-28
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H01L31/0216
- 有源矩阵基板(1)在基板(101)上具备第一电极(14a)、光电转换元件(15)、以及第二电极(14b)。第一电极(14a)、光电转换元件(15)、以及第二电极(14b)被在第二电极上具有第一开口(105a)的第一无机绝缘膜(105)覆盖。在第一无机绝缘膜(105)上设置有具有第二开口(106a)的第一有机绝缘膜(106),第二开口(106a)的内侧的第一有机绝缘膜(106a)的表面被具有俯视观察时与第一开口(105a)重叠的第三开口(117a)的第二无机绝缘膜(117)覆盖。在第二无机绝缘膜(117)上设置有在第一开口(105a)中与第二电极(14b)接触的导电膜(17)。
- 有源矩阵以及具备射线拍摄面板
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