[发明专利]由碳化钨块构成的等离子体设备用部件有效
| 申请号： | 201780035133.4 | 申请日： | 2017-05-29 |
| 公开（公告）号： | CN109314033B | 公开（公告）日： | 2021-02-09 |
| 发明（设计）人： | 黄成植;宣镐正;李在钒;吴浚禄;金贤贞;闵庚烈;金京仁 | 申请（专利权）人： | SKC索密思株式会社 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32;H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京德崇智捷知识产权代理有限公司 11467 | 代理人： | 金星 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： |
本发明提供一种等离子体的耐蚀性优秀且确保等离子体分布的均匀性，并改善电导率及热导率且简化结构的由碳化钨块构成的等离子体设备用部件及制造方法。该部件及方法涉及一种形成用于进行等离子体处理的反应空间的腔体及处于腔体的内部并与等离子体接触的部件，该部件具有等离子体耐蚀性，且体积电阻率为10 |
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| 搜索关键词： | 碳化 构成 等离子体 备用 部件 | ||
【主权项】：
1.一种由碳化钨块构成的等离子体设备用部件，其特征在于，包括：腔体，形成用于等离子体处理的反应空间；及部件，处于所述腔体的内部并与所述等离子体接触，所述部件由具有等离子体耐蚀性的碳化钨块构成，所述碳化钨具有体积电阻率103~10‑6Ωㆍcm。
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