[发明专利]研磨液、化学机械研磨方法有效
| 申请号： | 201780034712.7 | 申请日： | 2017-05-15 |
| 公开（公告）号： | CN109312213B | 公开（公告）日： | 2021-11-30 |
| 发明（设计）人： | 上村哲也 | 申请（专利权）人： | 富士胶片株式会社 |
| 主分类号： | C09K3/14 | 分类号： | C09K3/14;B24B37/00;C09G1/02;H01L21/304 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 薛海蛟 |
| 地址： | 日本国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明的课题在于提供一种在使用于CMP的情况下在被研磨体上不易产生缺陷的研磨液及化学机械研磨方法。本发明的研磨液为使用于化学机械研磨中的研磨液，所述研磨液中，含有研磨粒及有机酸且Ca浓度为100质量ppt以下。 | ||
| 搜索关键词： | 研磨 化学 机械 方法 | ||
【主权项】：
1.一种研磨液，其为使用于化学机械研磨的研磨液，所述研磨液中，含有研磨粒及有机酸，且Ca浓度为100质量ppt以下。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于富士胶片株式会社，未经富士胶片株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201780034712.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：研削液
- 下一篇：稀土类硫氧化物蓄冷材料
