[实用新型]一种硅片快速冷却装置

摘要

本实用新型公开了一种硅片快速冷却装置，包括冷却舱和支撑腿，冷却舱的顶部设有固定板，固定板的顶部设有转轴，固定板的顶部设有电机一，冷却舱的顶部设有通孔，固定板的底部中侧设有风叶，电机一的输出轴贯穿转轴与风叶连接,风叶位于通孔的内侧，冷却舱的底部设有冷却板，冷却板的顶部设有贯穿冷却板顶部并延伸至底部的气孔，气孔以矩阵方式平均分布于冷却板的顶部，冷却板的顶部设有冷却管，冷却管以S型平均分布于冷却板的顶部,设备自动运行，而且风冷可以方便的进行对硅片的降温，防止在后续工序中工人在挑拣次品时造成不必要的烫伤，非直接对着硅片直接喷涂降温，可以防止出现硅片脆化，提高成品率。

主权项

1.一种硅片快速冷却装置，包括冷却舱(1)和支撑腿(13)，其特征在于：所述冷却舱(1)的顶部设有固定板(2)，所述固定板(2)的顶部设有电机一(3)，所述冷却舱(1)的顶部设有通孔，所述固定板(2)的底部中侧设有风叶(4)，所述电机一(3)的输出轴贯穿固定板(2)的顶部并延伸至底部与风叶(4)连接，所述风叶(4)位于通孔的内侧，所述冷却舱(1)的底部设有冷却板(5)，所述冷却板(5)的顶部设有贯穿冷却板(5)顶部并延伸至底部的气孔(6)，所述冷却板(5)的顶部设有冷却管(7)，所述冷却管(7)的进液端和出液端均贯穿冷却舱(1)的内侧并延伸至外部，所述冷却舱(1)的右侧设有出液管(8)，所述冷却舱(1)与设有出液管(8)一侧的侧面设有进液管(9)，所述出液管(8)的进液端与冷却管(7)的出液端连接，所述进液管(9)的出液端与冷却管(7)的进液端连接，所述冷却舱(1)的底部左右两侧均设有支撑板(10)，支撑板(10)右侧设有散热箱(11)，所述散热箱(11)的顶部设有压缩泵(12)，所述散热箱(11)的出液端与压缩泵(12)的进液端连接，所述压缩泵(12)的进液端与出液管(8)的出液端连接，所述散热箱(11)的出液端与进液管(9)的进液端连接，所述支撑腿(13)的顶部设有转轴，所述转轴的侧面设有传送带(14)，所述支撑腿(13)的顶部设有贯穿一侧并延伸至另一侧与转轴连接的电机二(15)，电机一(3)、压缩泵(12)和电机二(15)的输入端电连接外部电源开关的输出端。