[实用新型]一种改善氮化硅薄膜膜厚均一性的炉管石英外管

摘要

本实用新型提供了一种改善氮化硅薄膜膜厚均一性的炉管石英外管，所述石英外管的外表面从上到下设置有粗糙度、颜色、厚度其中一项或多项不同的涂层，所述涂层设置上部涂层、中部涂层和下部涂层。本实用新型是在石英外管的不同区域采用不同的处理方法。使得能够得到均一性更好的氮化硅薄膜。通过加设石英外管的外表面涂层，并改变外表面涂层的能对热辐射造成影响的厚度、颜色、粗糙度的三个参数，通过对三个参数的调整达到调整氮化硅薄膜均一性的目的。且外表面涂层的厚度、颜色、粗糙度三个参数能渐变或分区域的改变。

主权项

1.一种改善氮化硅薄膜膜厚均一性的炉管石英外管，其特征在于：所述石英外管的外表面从上到下设置有粗糙度、颜色、厚度其中一项或多项不同的涂层(1)，所述涂层(1)设置上部涂层(11)、中部涂层(12)和下部涂层(13)；所述石英外管设置为从上到下为厚度渐薄的涂层(1)。