[实用新型]半导体制程用的温度调节装置

摘要

一种半导体制程用的温度调节装置，其包含有一机壳，其外侧设有至少一输入口及一输出口，且所述机壳内具有一容置空间；一散热模块，其设于所述容置空间；一致冷模块，其具有一发热部及一致冷部，所述致冷模块具有至少一致冷芯片，而所述发热部组接有所述散热模块；一降温结构，组设所述致冷部，并具有至少一供一液体流通的流道，而所述流道分别连通所述输入口及所述输出口；及一控制模块，其控制所述散热模块及所述致冷模块的作动；其中，主要透过所述致冷模块对所述流道中的液体进行温度控制，故，本实用新型不必装设压缩机，能达到简化本实用新型设备体积及成本，并具有体积小、散热效率高及提高良率的功效。

主权项

一种半导体制程用的温度调节装置，其特征在于，包含有：一机壳，其外侧设有至少一输入口及一输出口，且所述机壳内具有一容置空间；一散热模块，其设于所述容置空间；一致冷模块，其具有一发热部及一致冷部，所述致冷模块具有至少一致冷芯片，而所述发热部组接有所述散热模块；一降温结构，其组设所述致冷部，且所述降温结构具有至少一流道，所述流道供一液体流通，而所述流道分别连通所述输入口及所述输出口；及一控制模块，其电性连接所述散热模块及所述致冷模块，且所述控制模块控制所述散热模块及所述致冷模块的作动；其中，主要透过所述致冷模块对所述流道中的液体进行温度控制，所述散热模块对所述致冷芯片所产生的热能进行散热。