[实用新型]一种多尺寸硅片片盒悬挂器有效

专利信息
申请号: 201721032085.7 申请日: 2017-08-17
公开(公告)号: CN207233707U 公开(公告)日: 2018-04-13
发明(设计)人: 赵文龙;孟娟峰 申请(专利权)人: 麦斯克电子材料有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/673
代理公司: 洛阳公信知识产权事务所(普通合伙)41120 代理人: 狄干强
地址: 471000 河南省洛阳*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 一种多尺寸硅片片盒悬挂器,包括吊杆和两个卡头,吊杆的上部设置有悬挂钩,底部设置有挂板,挂板上设置有若干组卡槽,每组卡槽由两条贯穿挂板厚度方向的切槽组成,每个卡头的基板两侧设置两条侧板,两条侧板之间设置两条隔板,且每条侧板与其相邻的隔板间形成条形槽,以使硅片片盒的一端通过两条卡条与两条条形槽的配合卡在卡头上。本实用新型通过在挂板上不同位置设置若干组卡槽,每组卡槽由两条切槽组成,且不同组卡槽中两条切槽的间距分别对应不同尺寸规格的硅片片盒,然后通过在切槽内设置卡头,并将硅片片盒卡在卡头上,即可实现同一条挂板上悬挂不同尺寸规格的硅片片盒,降低了生产的成本。
搜索关键词: 一种 尺寸 硅片 悬挂
【主权项】:
一种多尺寸硅片片盒悬挂器,其特征在于:包括吊杆(1)和两个卡头(3),其中,吊杆(1)的上部设置有悬挂钩(101),底部设置有挂板(2),挂板(2)上设置有若干组卡槽,每组卡槽由两条贯穿挂板(2)厚度方向的切槽组成,所述两个卡头(3)为对称结构,且每个卡头(3)包括一基板和对称设置在该基板两侧的两条侧板(303),两条侧板(303)之间设置有两条隔板(302),且每条侧板(303)与其相邻的隔板(302)间形成条形槽(304),以使硅片片盒的U面通过该面两侧的卡条与两条条形槽(304)配合卡在卡头(3)上;卡头(3)与挂板(2)上的切槽相配合以固定在挂板(2)上,挂板(2)上不同组卡槽的两条切槽间距离不同,以使两个卡头(3)卡在同组卡槽的两条切槽内时,两个卡头(3)间的间距对应不同尺寸硅片片盒的长度。
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