[实用新型]一种MEMS压力传感器有效
| 申请号： | 201720902564.3 | 申请日： | 2017-07-24 |
| 公开（公告）号： | CN207066640U | 公开（公告）日： | 2018-03-02 |
| 发明（设计）人： | 周宗燐;蔡孟锦;邱冠勋;詹竣凯 | 申请（专利权）人： | 歌尔科技有限公司 |
| 主分类号： | G01L1/14 | 分类号： | G01L1/14;G01L9/12 |
| 代理公司： | 北京博雅睿泉专利代理事务所(特殊普通合伙)11442 | 代理人： | 王昭智,马佑平 |
| 地址： | 266104 山东省青岛*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及一种MEMS压力传感器，包括衬底以及位于衬底上方的下固定电极，还包括通过支撑部支撑在下固定电极上方的敏感膜；所述敏感膜与下固定电极之间形成容腔，且二者构成了平板电容器；所述敏感膜上设置有与容腔连通的释放孔；还包括设置在释放孔位置的填充部；所述填充部填充在释放孔中。本实用新型的压力传感器，所述填充部起到类似插销的作用，其填充密封在释放孔中，使得容腔可以维持在一定的压力。而且填充部仅设置在释放孔的位置，使得可以降低填充部对敏感膜灵敏度的影响。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 压力传感器 | ||
【主权项】：
一种MEMS压力传感器，其特征在于：包括衬底(1)以及位于衬底(1)上方的下固定电极(3)，还包括通过支撑部(4)支撑在下固定电极(3)上方的敏感膜(5)；所述敏感膜(5)与下固定电极(3)之间形成容腔(10)，且二者构成了平板电容器；所述敏感膜(5)上设置有与容腔(10)连通的释放孔；还包括设置在释放孔位置的填充部(7)；所述填充部(7)填充在释放孔中。
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