[实用新型]一种MEMS压力传感器

权利要求书

1.一种MEMS压力传感器，其特征在于：包括衬底(1)以及位于衬底(1)上方的下固定电极(3)，还包括通过支撑部(4)支撑在下固定电极(3)上方的敏感膜(5)；所述敏感膜(5)与下固定电极(3)之间形成容腔(10)，且二者构成了平板电容器；所述敏感膜(5)上设置有与容腔(10)连通的释放孔；还包括设置在释放孔位置的填充部(7)；所述填充部(7)填充在释放孔中。

2.根据权利要求1所述的MEMS压力传感器，其特征在于：所述填充部(7)与释放孔的孔壁之间还设置有氧化物层(6)。

3.根据权利要求2所述的MEMS压力传感器，其特征在于：所述氧化物层(6)为二氧化硅。

4.根据权利要求1所述的MEMS压力传感器，其特征在于：所述填充部(7)露出敏感膜(5)上端面的位置形成有覆盖所述释放孔位置的根部，使得所述填充部(7)的截面整体呈T形。

5.根据权利要求4所述的MEMS压力传感器，其特征在于：还包括覆盖所述根部的保护层(8)。

6.根据权利要求5所述的MEMS压力传感器，其特征在于：所述保护层(8)采用金属材质。

7.根据权利要求1所述的MEMS压力传感器，其特征在于：所述填充部(7)采用氮化硅材料。

8.根据权利要求1所述的MEMS压力传感器，其特征在于：所述衬底(1)上的平板电容器设置有多个，其中，至少一个平板电容器中的敏感膜与外界连通，至少一个平板电容器中的敏感膜与外界隔绝；二者构成了差分电容器结构。

9.根据权利要求8所述的MEMS压力传感器，其特征在于：与外界隔绝的平板电容器中的敏感膜被覆盖层(9)覆盖住。

10.根据权利要求9所述的MEMS压力传感器，其特征在于：所述覆盖层(9)为二氧化硅。