[实用新型]一种激光金属镀膜装置

摘要

一种激光金属镀膜装置,包括激光器、显微镜、反应腔体、运动气缸、运动连杆、控制器、上位机和位置传感器。由于本申请的激光金属镀膜装置通过控制器接收上位机的镀膜指令，根据镀膜指令开启流量截流阀，驱动运动气缸使得运动连杆往复水平移动，带动反应腔体移动至显微镜下方接收激光镀膜；在移动的过程中控制器通过位置传感器实时获取驱动连杆的位置信息，根据位置信息，改变气体流量阀开启的大小，调节输入的气体流量，控制驱动连杆移动速度，从而对待镀物体的镀膜操作进行闭环控制，减小反应腔体与显微镜的中心偏差，使得镀膜密度、精度更好。

主权项

一种激光金属镀膜装置,包括激光器、显微镜和反应腔体，所述显微镜处于激光器正下方，所述激光器的激光发射口与显微镜的中心对齐，其特征在于还包括：运动气缸、运动连杆、控制器、上位机和位置传感器；所述运动气缸与运动连杆一端相连接，运动连杆另一端与反应腔体相连接，所述运动气缸设置有用于输入气体的进气口和气体流量阀，气体流量阀开启时，有气体经进气口输入到所述运动气缸中，驱动运动气缸使得运动连杆往复水平移动，将反应腔体移动至显微镜下方或将反应腔体移离显微镜下方；所述控制器与气体流量阀和激光器相连接，控制器接收上位机发送的镀膜指令，所述镀膜指令至少包括镀膜时间和镀膜厚度信息，根据镀膜镀膜指令，控制气体流量阀开启或关闭，并控制激光器射出的激光束能量大小和激光器工作的时间，所述位置传感器与控制器相连接，用于实时检测驱动连杆水平移动的位置信息，所述控制器根据所述位置传感器检测的驱动连杆水平移动的位置信息，改变气体流量阀开启的大小，调节输入的气体流量，控制驱动连杆水平移动速度。