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- [发明专利]一种全自动晶圆测试设备及方法-CN202310529691.3有效
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刘世文;钟金成
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深圳市森美协尔科技有限公司
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2023-05-11
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2023-07-25
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H01L21/66
- 本申请涉及晶圆检测的技术领域，尤其是涉及一种全自动晶圆测试设备及方法，包括机箱、料仓、支撑架、预定位机构及检测机构。其中，机箱内设置有分隔板，分隔板将机箱内部分隔出转运腔及检测腔；料仓设置在机箱上，机械手设置在转运腔内且靠近料仓，机械手用于转运晶圆；支撑架设置在转运腔内，预定位机构设置在支撑架上且远离料仓，预定位机构用于对晶圆的正面或背面的编号进行检测，并调整晶圆的位置；检测机构设置在检测腔内，检测机构包括卡盘及针卡夹具，针卡夹具用于夹持针卡，机械手用于将晶圆从转运腔转运至检测腔内，并将晶圆放置在卡盘上，以便于针卡对卡盘上的晶圆进行检测。本申请具有便于对晶圆的位置进行校准的效果。
- 一种全自动测试设备方法
- [发明专利]一种低温探针测试设备-CN202310435861.1有效
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刘世文
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深圳市森美协尔科技有限公司
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2023-04-22
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2023-07-04
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G01R31/00
- 本申请涉及温度测试技术的领域，尤其涉及一种低温探针测试设备，包括真空仓、承载机构、探针机构、观察机构和调节机构；真空仓、探针机构以及观察机构均安装于承载机构上表面；真空仓设置有第一通孔；探针机构外周侧设置有隔绝管，隔绝管覆盖第一通孔，真空仓内部设置有屏蔽仓，屏蔽仓设置有第二通孔，然后屏蔽仓内部设置有样品台；承载机构安装有制冷装置，制冷装置外周侧局部包覆有延展管，制冷装置上表面连接有铜台，铜台与样品台之间设置第一柔性铜条，真空仓上表面设置有观察孔，观察机构通过观察孔观察样品，调节机构设置于承载机构的一侧，用于控制所述真空仓的真空状态以及控制所述真空仓内部的温度，本申请能提高检测结果的精确程度。
- 一种低温探针测试设备
- [发明专利]一种探针卡分析仪-CN202210480733.4在审
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陈亮;刘世文;瞿高峰
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深圳市森美协尔科技有限公司
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2022-05-05
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2023-05-02
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G01R31/26
- 本申请公开了一种探针卡分析仪，属于半导体设备领域，包括机座，机座设置有用于安装探针卡的翻转板，机座设置有用于使翻转板升降的升降机构和用于使翻转板旋转的旋转机构，机座位于翻转板下方设置有检测机构，检测机构包括用于与探针接触的传感器组，机座设置有用于控制检测机构沿三维坐标系移动的X轴位移机构、Y轴位移机构和Z轴位移机构，检测机构连接于Z轴位移机构，机座位于翻转板上方设置有第一放大观察件，机座设置有用于供第一放大观察件滑移的调位机构。本申请具有提高探针的检测效率的作用。
- 一种探针分析
- [实用新型]一种探针卡承载装置-CN202121813039.7有效
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刘艺;刘世文;陈亮
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深圳市森美协尔科技有限公司
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2021-08-04
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2022-12-06
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G01R1/073
- 本申请涉及一种探针卡承载装置，其包括底座，所述底座上固定安装有支撑板，所述支撑板朝竖直方向延伸，所述支撑板上设置有安装板，所述安装板与所述支撑板滑动式连接，所述支撑板上设置有用于驱动所述安装板沿竖直方向移动的第一驱动件；所述安装板设置有用于承载探针卡的安装平台，所述安装平台与所述安装板铰接，所述安装板上设置有用于驱动所述安装平台沿竖直方向上下翻转的第二驱动件；所述安装板还设置有用于将所述安装平台向上翻转至预设位置时进行固定的固定组件。本申请具有减少承载装置闲置时平台对空间的占用，提升空间利用率的效果。
- 一种探针承载装置
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