[实用新型]一种激光金属镀膜装置

说明书

技术领域

本申请涉及电子设备与仪器技术领域，具体涉及一种激光金属镀膜装置。

背景技术

激光金属镀膜是指利用激光，在反应腔体内使得金属离子气体与待镀物体表面时发生的光化学气相沉积，将金属镀在物体表面。现有的激光金属镀膜装置往往需要手动移动反应腔体的位置，常常每次都要对移动反应腔体的偏差进行微调。这样会造成每次移动反应腔体与显微镜的中心偏差大，激光入射角度过高或过低，影响激光能量，而且，每次移动反应腔体震动大，对下方的待镀膜产品造成表面损伤，另外，由于移动反应腔体会造成反应腔体的水平与垂直位置经常变化，使得镀膜工艺不稳定。

发明内容

本申请提供一种激光金属镀膜装置，减少每次镀膜时移动反应腔体造成的移动反应腔体与显微镜的中心偏差大，使得镀膜密度、精度更好。

本申请提供一种激光金属镀膜装置,该装置包括激光器、显微镜和反应腔体，所述显微镜处于激光器正下方，所述激光器的激光发射口与显微镜的中心对齐，该装置还包括：运动气缸、运动连杆、控制器、上位机和位置传感器；

所述运动气缸与运动连杆一端相连接，运动连杆另一端与反应腔体相连接，所述运动气缸设置有用于输入气体的进气口和气体流量阀，气体流量阀开启时，有气体经进气口输入到所述运动气缸中，驱动运动气缸使得运动连杆往复水平移动，将反应腔体移动至显微镜下方或将反应腔体移离显微镜下方；

所述控制器与气体流量阀和激光器相连接，控制器接收上位机发送的镀膜指令，所述镀膜指令至少包括镀膜时间和镀膜厚度信息，根据镀膜镀膜指令，控制气体流量阀开启或关闭，并控制激光器射出的激光束能量大小和激光器工作的时间，

所述位置传感器与控制器相连接，用于实时检测驱动连杆水平移动的位置信息，所述控制器根据所述位置传感器检测的驱动连杆水平移动的位置信息，改变气体流量阀开启的大小，调节输入的气体流量，控制驱动连杆水平移动速度。

在一些实施例，所述显微镜透镜的倍率至少大于或等于50倍。

依据上述实施例，由于本申请的激光金属镀膜装置通过控制器接收上位机的镀膜指令，根据镀膜指令开启流量截流阀，驱动运动气缸使得运动连杆往复水平移动，带动反应腔体移动至显微镜下方接收激光镀膜；在移动的过程中控制器通过位置传感器实时获取驱动连杆4的位置信息，根据位置信息，改变气体流量阀开启的大小，调节输入的气体流量，控制驱动连杆移动速度，从而对待镀物体的镀膜操作进行闭环控制，减小反应腔体与显微镜的中心偏差，使得镀膜密度、精度更好。

附图说明

图1为一种激光金属镀膜装置结构示意图；

图2为一种激光金属镀膜装置控制系统示意图。

具体实施方式

下面通过具体实施方式结合附图对本发明作进一步详细说明。其中不同实施方式中类似元件采用了相关联的类似的元件标号。在以下的实施方式中，很多细节描述是为了使得本申请能被更好的理解。然而，本领域技术人员可以毫不费力的认识到，其中部分特征在不同情况下是可以省略的，或者可以由其他元件、材料、方法所替代。在某些情况下，本申请相关的一些操作并没有在说明书中显示或者描述，这是为了避免本申请的核心部分被过多的描述所淹没，而对于本领域技术人员而言，详细描述这些相关操作并不是必要的，他们根据说明书中的描述以及本领域的一般技术知识即可完整了解相关操作。

参考图1和图2，本申请提供了一种激光金属镀膜装置,该装置包括激光器1、显微镜2和反应腔体3，显微镜2处于激光器1正下方，激光器1的激光发射口与显微镜2的中心对齐，该装置还包括：运动气缸8、运动连杆4、控制器5、上位机10和位置传感器7。

运动气缸8与运动连杆4一端相连接，运动连杆4另一端与反应腔体3相连接，运动气缸8设置有用于输入气体的进气口9和气体流量阀6，气体流量阀6开启，有气体经进气口9输入到运动气缸8中，从而驱动运动气缸8使得运动连杆4往复水平移动，将反应腔体3移动至显微镜2下方或将反应腔体2移离显微镜下方.

控制器5与气体流量阀6和激光器1相连接，控制器5接收上位机10发送的镀膜指令，镀膜指令至少包括镀膜时间和镀膜厚度信息，根据镀膜镀膜指令，控制气体流量阀6开启或关闭，并控制激光器1射出的激光束能量大小和激光器1工作的时间。