[实用新型]一种激光诱导气相沉积系统的光路控制装置

摘要

一种激光诱导气相沉积系统的光路控制装置，包括第一激光器和第二激光器以及沿光路设置的第一反射镜、第二放射镜、透镜、能量传感器、第三反射镜和物镜。由于本申请采用了两个不同类型激光器，即第一激光器用于对产品进行表面微镀膜，第二激光器用于对产品缺陷进行修复，使得激光诱导气相沉积系统满足不同能量和类型激光束的需求，又由于本申请采用了透镜将激光器射出的激光束按预设的比例进行反射和透射，并利用能量传感器根据射入的反射激光束能量大小和预设的比例，计算出透射激光束的能量大小，使得可实时监控照射在待镀物件表面的透射激光束能量大小，控制每次镀膜时所用激光的能量大小，提高镀膜工艺水平和镀膜效率。

主权项

一种激光诱导气相沉积系统的光路控制装置，包括用于放置待镀物体的载物平台，其特征在于还包括：第一激光器和第二激光器以及沿光路设置的第一反射镜、第二放射镜、透镜、能量传感器、第三反射镜和物镜；第一激光器用于对产品进行表面微镀膜，第二激光器用于对产品缺陷进行修复，第一激光器与第二激光器呈直角放置；第一激光器射出的激光束与第二激光器射出的激光束交汇处设置第一反射镜，第一反射镜下方设置第二反射镜，第一反射镜将第一激光器射出的激光束或第二激光器射出的激光束反射，到达第二反射镜；所述第一激光器射出的激光束或第二激光器射出的激光束经第二反射镜反射后，到达透镜；所述透镜将所述第一激光器射出的激光束或第二激光器射出的激光束按预设的比例进行反射和透射，得到反射激光束和透射激光束，所述反射激光束射入能量传感器，所述透射激光束到达第三反射镜；所述透射激光束经第三反射镜反射后达到物镜，所述透射激光束经所述物镜聚焦后照射在载物平台上放置的待镀物体表面，进行激光镀膜；所述反射激光束射入能量传感器后，能量传感器根据射入的反射激光束能量大小和预设的比例，计算出所述透射激光束的能量大小。