[实用新型]一种激光诱导气相沉积系统的光气分离装置

摘要

一种激光诱导气相沉积系统的光气分离装置，包括激光器、聚焦物镜、反应腔体和平衡调节阀。由于该装置将保护气体入/出口、工作气体入口和负压抽取口分别设置于反应腔体的上、中、底部，并利用平衡调节阀对反应腔体匀压控制，使得反应腔体内气路分布均匀，提升工作气体稳定性和负压抽取的均匀性，提高沉积后的表面质量和均匀度；又由于该装置在反应腔体的腔体口设置了阻气镜片，在靠近腔体口的反应腔体两侧分别设置了保护气体入口和保护气体出口，保护气体将对阻气镜片下表面起到了保护作用，使得工作气体不会接触到阻气镜片下表面，避免在阻气镜片下表面形成阻档激光束进入反应腔体的金属膜，不仅可防止工作气体逃逸还保证阻气镜片的透光性。

主权项

一种激光诱导气相沉积系统的光气分离装置,包括：激光器、聚焦物镜和反应腔体，反应腔体下方放置有待镀膜产品，激光器发射的激光束透过聚焦物镜从反应腔体的腔体口射入反应腔体，激光束照射待镀膜产品表面时，将在待镀膜产品表面形成光气混合区，在其特征在于还包括：所述反应腔体的腔体口设置有阻气镜片；所述反应腔体的上部、靠近腔体口的位置，其两侧分别设置有保护气体入口和保护气体出口；所述反应腔体的中部，其两侧分别设置有工作气体入口；所述反应腔体的底部设置有均压环型槽，所述均压环型槽侧面设置有负压抽取口；平衡调节阀，所述平衡调节阀用于调节所述反应腔体内上下面的压力差。