[实用新型]一种激光诱导气相沉积系统的光气分离装置

权利要求书

1.一种激光诱导气相沉积系统的光气分离装置,包括：激光器、聚焦物镜和反应腔体，反应腔体下方放置有待镀膜产品，激光器发射的激光束透过聚焦物镜从反应腔体的腔体口射入反应腔体，激光束照射待镀膜产品表面时，将在待镀膜产品表面形成光气混合区，在其特征在于还包括：

所述反应腔体的腔体口设置有阻气镜片；所述反应腔体的上部、靠近腔体口的位置，其两侧分别设置有保护气体入口和保护气体出口；所述反应腔体的中部，其两侧分别设置有工作气体入口；所述反应腔体的底部设置有均压环型槽，所述均压环型槽侧面设置有负压抽取口；

平衡调节阀，所述平衡调节阀用于调节所述反应腔体内上下面的压力差。

2.如权利要求1所述的光气分离装置，其特征在于，还包括：温度传感器与腔体加热装置，所述温度传感器用于实时监测所述反应腔体的温度，所述腔体加热装置用于对所述反应腔体进行加热。