[实用新型]一种图形化蓝宝石衬底的光刻装置

摘要

本实用新型公开了一种图形化蓝宝石衬底的光刻装置，包括装置本体，所述装置本体为空腔结构，所述装置本体的底部内壁上固定安装有底座，所述装置本体的内部两侧沿竖直方向安装有两组滑道，两组所述滑道上滑动安装有安装板，所述装置本体顶部内壁上固定安装有推杆电机，且推杆电机的输出轴连接安装板，所述安装板设有开口，且开口靠近底座，所述安装板顶部设有环形槽，所述安装板顶部的内壁上转动安装有第一转轴，所述第一转轴的一端固定安装有第一齿轮。实用新型在底座内设有加热条，使刻制图形时的效果更加明显，且能使光刻时的精度更高，有效方便的提高产品的合格率，也能提高装置的生产率，本装置设计新颖，结构简单，值得推广。

主权项

一种图形化蓝宝石衬底的光刻装置，包括装置本体（1），其特征在于，所述装置本体（1）为空腔结构，所述装置本体（1）的底部内壁上固定安装有底座（2），所述装置本体（1）的内部两侧沿竖直方向安装有两组滑槽（3），两组所述滑槽（3）上滑动安装有安装板（4），所述装置本体（1）顶部内壁上固定安装有推杆电机（5），且推杆电机（5）的输出轴连接安装板（4），所述安装板（4）设有开口，且开口靠近底座（2），所述安装板（4）顶部设有环形槽，所述安装板（4）顶部的内壁上转动安装有第一转轴（6），所述第一转轴（6）的一端固定安装有第一齿轮（7），所述第一齿轮（7）远离开口的一侧安装有把手（8），且把手（8）远离第一齿轮（7）的一端贯穿环形槽，所述安装板（4）两侧壁沿长度方向安装有固定杆（9），所述固定杆（9）中间活动安装有第二齿轮（10），且第二齿轮（10）与第一齿轮（7）啮合，所述安装板（4）靠近开口的两侧壁上对称安装有固定块（11），两组固定块（11）中间安装有蜗杆（12），且蜗杆（12）与第二齿轮（10）啮合，所述蜗杆（12）的两端固定安装有光刻器（13）。