[实用新型]一种图形化蓝宝石衬底的光刻装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及光刻装置技术领域，尤其涉及一种图形化蓝宝石衬底的光刻装置。

背景技术

光刻是通过一系列生产步骤，将晶圆表面薄膜的特定部分除去的工艺，在此之后，晶圆表面会留下带有微图形结构的薄膜。通过光刻工艺过程，最终在晶圆上保留的是特征图形部分，光刻工艺利用照相复制与化学腐蚀相结合的技术，在工件表面制取精密、微细和复杂薄层图形。

然而，国内现有的光刻装置所制备的图形文件衬底，多存在所刻图形合格率较差、生产率低等问题，在对图形文件衬底光刻前校准不够精细，导致实际所刻特征图形与理想有较大的偏差，使产品不能投入使用，浪费成本。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种图形化蓝宝石衬底的光刻装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种图形化蓝宝石衬底的光刻装置，包括装置本体，所述装置本体为空腔结构，所述装置本体的底部内壁上固定安装有底座，所述装置本体的内部两侧沿竖直方向安装有两组滑槽，两组所述滑槽上滑动安装有安装板，所述装置本体顶部内壁上固定安装有推杆电机，且推杆电机的输出轴连接安装板，所述安装板设有开口，且开口靠近底座，所述安装板顶部设有环形槽，所述安装板顶部的内壁上转动安装有第一转轴，所述第一转轴的一端固定安装有第一齿轮，所述第一齿轮远离开口的一侧安装有把手，且把手远离第一齿轮的一端贯穿环形槽，所述安装板两侧壁沿长度方向安装有固定杆，所述固定杆中间活动安装有第二齿轮，且第二齿轮与第一齿轮啮合，所述安装板靠近开口的两侧壁上对称安装有固定块，两组固定块中间安装有蜗杆，且蜗杆与第二齿轮啮合，所述蜗杆的两端固定安装有光刻器。

优选的，所述底座沿长度方向等距离均匀设有置物槽。

优选的，两组固定块相靠近的侧壁上设有与蜗杆相匹配的螺纹。

优选的，所述底座内设有电热条。

优选的，所述固定块的两侧固定安装有滑轮，且滑轮活动安装在滑槽内。

优选的，所述装置本体远离滑槽的侧壁为钢化玻璃制成，钢化玻璃的四周设有橡胶条。

优选的，所述安装板上设有刻度。

与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本实用新型中，本装置在底座内设有加热条，在进行光刻的同时对图形文件衬底进行一定温度的加热，能使刻制图形时的效果更加明显，在进行校准时，能使光刻器能进行细微的调整，使光刻时的精度更高，有效方便的提高产品的合格率，也能提高装置的生产率，本装置设计新颖，结构简单，值得推广。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种图形化蓝宝石衬底的光刻装置的结构示意图；

图2为本实用新型提出的一种图形化蓝宝石衬底的光刻装置的安装板的剖视图。

图中：1装置本体、2底座、3滑槽、4安装板、5推杆电机、6第一转轴、7第一齿轮、8把手、9固定杆、10第二齿轮、11、固定块、12蜗杆、13光刻器。

具体实施方式

下面将结合本实用新型实施例中的附图，对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本实用新型一部分实施例，而不是全部的实施例。