[实用新型]一种金属有机化学气相沉积装置

摘要

本实用新型公开了一种金属有机化学气相沉积装置，它涉及半导体外延生长设备技术领域；所述箱体的内底部安装有支撑轴，所述支撑轴的内上端安装有低速电机，所述低速电机的转轴上连接有安装板，所述安装板的上侧设置有衬底，所述安装板的两端均安装有风叶，所述箱体内部的上端安装有气体喷淋机构，所述气体喷淋机构上分别安装有进气管一与进气管二，所述进气管一与进气管二上均安装有控制阀门，所述箱体的左端安装有观察窗，所述排气管穿接在箱体的左侧；本实用新型便于实现快速混合与沉积，且气体混合均匀，操作简便，效率高，节省时间。

主权项

一种金属有机化学气相沉积装置，其特征在于：它包含箱体、支撑轴、安装板、低速电机、风叶、衬底、气体喷淋机构、进气管一、进气管二、控制阀门、观察窗、排气管；所述箱体的内底部安装有支撑轴，所述支撑轴的内上端安装有低速电机，所述低速电机的转轴上连接有安装板，所述安装板的上侧设置有衬底，所述安装板的两端均安装有风叶，所述箱体内部的上端安装有气体喷淋机构，所述气体喷淋机构上分别安装有进气管一与进气管二，所述进气管一与进气管二上均安装有控制阀门，所述箱体的左端安装有观察窗，所述排气管穿接在箱体的左侧。