[实用新型]一种非接触测试半绝缘半导体电阻率的装置有效
| 申请号： | 201720493350.5 | 申请日： | 2017-05-05 |
| 公开（公告）号： | CN206773072U | 公开（公告）日： | 2017-12-19 |
| 发明（设计）人： | 王昕;田蕾;李俊生 | 申请（专利权）人： | 广州市昆德科技有限公司 |
| 主分类号： | G01R27/02 | 分类号： | G01R27/02 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司44245 | 代理人： | 刘巧霞,裘晖 |
| 地址： | 510650 广东省广*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种非接触测试半绝缘半导体电阻率的装置，包括数字示波器、脉冲发生器、容性探头和样品台，容性探头设置在样品台的上方，所述样品台上堆叠有金属电极层和绝缘体层，待测样品放置在金属电极层上，金属电极层与脉冲发生器相连，脉冲发生器频率、幅度可调；所述容性探头包括相连的电容活动极和电荷放大器，电容活动极一端为探测面，设置在待测样品的正上方，电荷放大器与数字示波器相连；数字示波器用于显示测量信号波形对应的充电时间和电压幅值。本实用新型通过在充放电过程中的测量，可以通过非接触方式测量，通过数字示波器读取相应的信号参数，进而得到半绝缘半导体的电阻率值，具有测量准确，结构简单，成本低廉的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 接触 测试 绝缘 半导体 电阻率 装置 | ||
【主权项】：
一种非接触测试半绝缘半导体电阻率的装置，其特征在于，包括数字示波器、脉冲发生器、容性探头和样品台，容性探头设置在样品台的上方，所述样品台上堆叠有金属电极和绝缘体，待测样品放置在金属电极上，金属电极与脉冲发生器相连，脉冲发生器频率、幅度可调；所述容性探头包括相连的电容活动极和电荷放大器，电容活动极一端为探测面，设置在待测样品的正上方，电荷放大器与数字示波器相连；数字示波器用于显示测量信号波形对应的充电时间和电压幅值。
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