[实用新型]一种芯片图形曝光装置有效
| 申请号： | 201720375090.1 | 申请日： | 2017-04-11 |
| 公开（公告）号： | CN206638950U | 公开（公告）日： | 2017-11-14 |
| 发明（设计）人： | 尚宏博;徐利辉;曾春旺 | 申请（专利权）人： | 四川科尔威光电科技有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 成都华风专利事务所(普通合伙)51223 | 代理人： | 徐丰 |
| 地址： | 610041 四川省成都市高新*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及半导体器件制造技术领域，具体涉及一种芯片图形曝光装置，包括支撑座和与支撑座转动连接的芯片台，芯片台上设置有用于夹紧光刻版的夹具。本实用新型将芯片和光刻版固定在芯片台上同时完成曝光，曝光效率高，且正面图形和侧面图形完全对准。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 芯片 图形 曝光 装置 | ||
【主权项】：
一种芯片图形曝光装置，其特征在于，包括支撑座和与支撑座转动连接的芯片台，芯片台上设置有用于夹紧光刻版的夹具；所述支撑座包括底座和与底座垂直连接的两个支撑柱；所述芯片台相对的两端分别设置有连接杆，两个连接杆的自由端分别穿过对应侧的支撑柱并与支撑柱转动连接；所述连接杆与支撑柱的连接处均设置有紧固螺栓。
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