[实用新型]一种芯片加工清洗装置有效

专利信息
申请号: 201720342928.7 申请日: 2017-04-02
公开(公告)号: CN206774506U 公开(公告)日: 2017-12-19
发明(设计)人: 卓廷厚 申请(专利权)人: 华天恒芯半导体(厦门)有限公司
主分类号: H01L21/67 分类号: H01L21/67;H01L21/66
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 361000 福建省厦门市湖里*** 国省代码: 福建;35
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摘要: 实用新型公开了一种芯片加工清洗装置,包括物料槽和第一清洗池,所述第一清洗池、第二清洗池、第三清洗池和第四清洗池的内部均通过电机固定连接有传送带,所述第一清洗池内部两侧壁均设置有去静电板,所述第一清洗池的内部上壁设置有污垢检测器,所述污垢检测器电性连接有推动器,所述第二清洗池的内部设置有浸洗液,所述第三清洗池的内壁设置有雾化喷气口,所述第四清洗池的内部上壁设置有排风层,所述排风层的下方设置有电加热丝。该清洗装置可以通过清洗池内的检测装置对芯片污垢程度进行检测,循环进行第二次的清洗过程,保证每个芯片的清洗结果达标。
搜索关键词: 一种 芯片 加工 清洗 装置
【主权项】:
一种芯片加工清洗装置,包括物料槽(1)和第一清洗池(6),其特征在于:所述物料槽(1)包括出料槽(19)和进料槽(20),所述进料槽(20)设置在出料槽(19)的下方,所述出料槽(19)的一侧设置有出口管(9),所述进料槽(20)的一侧设置有进口管(10),所述进口管(10)和出口管(9)的另一端均通过内外螺纹连接在第一清洗池(6)的一侧,所述第一清洗池(6)的一端通过连接管(8)固定连接有第二清洗池(5),所述第二清洗池(5)的一端通过连接管(8)固定连接有第三清洗池(2),所述第三清洗池(2)的一端通过连接管(8)固定连接有第四清洗池(3),所述第四清洗池(3)的一端通过连接管(8)固定连接在第一清洗池(6)的一侧,所述第一清洗池(6)、第二清洗池(5)、第三清洗池(2)和第四清洗池(3)的内部均通过电机(4)固定连接有传送带(12),所述第一清洗池(6)内部两侧壁均设置有去静电板(16),所述第一清洗池(6)的内部上壁设置有污垢检测器(17),所述污垢检测器(17)电性连接有推动器(18),所述第二清洗池(5)的内部设置有浸洗液(11),所述第三清洗池(2)的内壁设置有雾化喷气口(13),所述第四清洗池(3)的内部上壁设置有排风层(14),所述排风层(14)的下方设置有电加热丝(15)。
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