[实用新型]用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置

摘要

本实用新型公开了一种多层，并且能够调节相邻两层匀流隔热板上通气孔错位情况的用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置。该匀流隔热装置，包括至少两层匀流隔热板，所述匀流隔热板上设置有通气孔；所述匀流隔热板下表面设置有环形凸台，所述匀流隔热板由上之下依次分布；所述相邻两层匀流隔热板中上层环形凸台与下层匀流隔热板的外圆周面转动配合；所述匀流隔热板中最下层的匀流隔热板的环形凸台底部设置有凸缘；所述最下层的匀流隔热板上方的各个匀流隔热板的环形凸台上均设置有延伸到凸缘的转动板；所述凸缘上设置有锁紧转动板的锁紧装置。采用该匀流隔热装置，能够使得气体能够充分的均匀的分布在工艺腔内，提高产品品质。

主权项

用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置，其特征在于：包括至少两层匀流隔热板(1)，所述匀流隔热板(1)上设置有通气孔(3)；所述匀流隔热板(1)下表面设置有环形凸台(2)，所述环形凸台(2)具有的内圈与匀流隔热板(1)具有的外圆周面匹配；所述匀流隔热板(1)由上至下依次分布；所述相邻两层匀流隔热板(1)中上层匀流隔热板(1)上的环形凸台(2)与下层匀流隔热板(1)的外圆周面转动配合；所述匀流隔热板(1)中最下层的匀流隔热板(1)的环形凸台(2)底部设置有凸缘(5)；所述最下层的匀流隔热板(1)上方的各个匀流隔热板(1)的环形凸台(2)上均设置有延伸到凸缘(5)的转动板(7)；所述凸缘(5)上设置有锁紧转动板(7)的锁紧装置(9)。