[实用新型]用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置

说明书

技术领域

本实用新型涉及一种匀流隔热装置，尤其是一种用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置。

背景技术

众所周知的：石墨烯薄膜的生长需要在保护气体和相应工艺气体的环境中进行。保护气体以及工艺气体的分布能够直接影响到石墨烯薄膜生长的品质。因此需要在石墨烯生长工艺腔内通入均匀的气流。

常见的使得气流均匀的装置有匀流隔热板，现有匀流隔热板均为在隔热板上设置均匀分布的通气孔，从而实现对经过隔热板气流的均匀分布。

然而通过单层的匀流隔热板并不能使得气流均匀的进入到工艺腔内，对于卷对卷特殊生长工艺，石墨烯生长基料需要从匀流隔热板的中心位置穿过。因此，现有的匀流隔热板无法满足石墨烯薄膜生长的要求。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是提供一种多层，并且能够调节相邻两层匀流隔热板上通气孔错位情况，从而使得气体能够充分的均匀的分布在工艺腔内的用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：本实用新型提供了一种用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置，包括至少两层匀流隔热板，所述匀流隔热板上设置有通气孔；

所述匀流隔热板下表面设置有环形凸台，所述环形凸台具有的内圈与匀流隔热板具有的外圆周面匹配；所述匀流隔热板由上至下依次分布；

所述相邻两层匀流隔热板中上层匀流隔热板上的环形凸台与下层匀流隔热板的外圆周面转动配合；所述匀流隔热板中最下层的匀流隔热板的环形凸台底部设置有凸缘；

所述最下层的匀流隔热板上方的各个匀流隔热板的环形凸台上均设置有延伸到凸缘的转动板；所述凸缘上设置有锁紧转动板的锁紧装置。

进一步的，所述匀流隔热板上设置有中心通孔，且所有匀流隔热板的中心通孔的中心线共线。

优选的，所述凸缘上设置有环形凹槽，所述转动板的下端延伸到环形凹槽内，所述凸缘上设置有由凸缘外圆周面延伸到环形凹槽内的弧形滑槽；所述锁紧装置采用锁紧螺栓，所述锁紧螺栓具有的螺纹端穿过环形凹槽且与转动板螺纹连接。

进一步的，所述中心通孔位于匀流隔热板中心位置五分之一的面积区域内。

进一步的，每层匀流隔热板上的通气孔，由最下层匀流隔热板到最顶层的匀流隔热板依次减小。

进一步的，所述匀流隔热板的半径为R，相邻两层匀流隔热板之间的间距为0.5R至2R。

优选的，所述转动板采用铝合金制造。

优选的，所述环形凸台采用隔热材料制造。

本实用新型的有益效果是：本实用新型所述的用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置由于设置有至少两层匀流隔热板，同时两层匀流隔热板之间可以相对转动，因此可以通过调节相邻两层匀流隔热板上通气孔的错位角度，使得通入工艺腔内的气体均匀分布；从而保证石墨烯薄膜的生产品质，在减少工艺气体的用量的同时提高产品质量。同时由于匀流隔热板的外围设置有环形凸台，因此能够保证所有气体均经过该匀流隔热板均匀分散到工艺腔中。防止气体遇阻后再向双边扩散，进而沿工艺腔管壁与匀流隔热板之间的间隙流动，导致气体分散不均匀。

附图说明

图1是本实用新型实施例中用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置的爆炸示意图；

图2是本实用新型实施例中用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置的立体图；

图3是本实用新型实施例中用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置的主视图；

图4是本实用新型实施例中用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置的俯视图；

图5是图4中的A-A剖视图；

图中标示：1-匀流隔热板，2-环形凸台，3-通气孔，4-中心通孔。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本实用新型进一步说明。

如图1至图5所示，本实用新型所述的用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置，包括至少两层圆形的匀流隔热板1，所述匀流隔热板1上设置有通气孔3；

所述匀流隔热板1下表面设置有环形凸台2，所述环形凸台2具有的内圈与匀流隔热板1具有外圆周面匹配；所述匀流隔热板1由上至下依次分布；

所述相邻两层匀流隔热板1中上层匀流隔热板1上的环形凸台2与下层匀流隔热板1的外圆周面转动配合；所述匀流隔热板1中最下层的匀流隔热板1的环形凸台2底部设置有凸缘5；

所述最下层的匀流隔热板1上方的各个匀流隔热板1的环形凸台2上均设置延伸到凸缘5的有转动板7；所述凸缘5上设置有锁紧转动板7的锁紧装置9。

在使用的过程中：