[实用新型]用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置

权利要求书

1.用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置，其特征在于：包括至少两层匀流隔热板(1)，所述匀流隔热板(1)上设置有通气孔(3)；

所述匀流隔热板(1)下表面设置有环形凸台(2)，所述环形凸台(2)具有的内圈与匀流隔热板(1)具有的外圆周面匹配；所述匀流隔热板(1)由上至下依次分布；

所述相邻两层匀流隔热板(1)中上层匀流隔热板(1)上的环形凸台(2)与下层匀流隔热板(1)的外圆周面转动配合；所述匀流隔热板(1)中最下层的匀流隔热板(1)的环形凸台(2)底部设置有凸缘(5)；

所述最下层的匀流隔热板(1)上方的各个匀流隔热板(1)的环形凸台(2)上均设置有延伸到凸缘(5)的转动板(7)；所述凸缘(5)上设置有锁紧转动板(7)的锁紧装置(9)。

2.如权利要求1所述的用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置，其特征在于：所述匀流隔热板(1)上设置有中心通孔(4)，且所有匀流隔热板(1)的中心通孔(4)的中心线共线。

3.如权利要求1所述的用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置，其特征在于：所述凸缘(5)上设置有环形凹槽(6)，所述转动板(7)的下端延伸到环形凹槽(6)内，所述凸缘(5)上设置有由凸缘(5)外圆周面延伸到环形凹槽(6)内的弧形滑槽(8)；所述锁紧装置(9)采用锁紧螺栓，所述锁紧螺栓具有的螺纹端穿过环形凹槽(6)且与转动板(7)螺纹连接。

4.如权利要求2所述的用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置，其特征在于：所述中心通孔(4)位于匀流隔热板(1)中心位置五分之一的面积区域内。

5.如权利要求1所述的用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置，其特征在于：每层匀流隔热板(1)上的通气孔(3)，由最下层匀流隔热板(1)到最顶层的匀流隔热板(1)依次减小。

6.如权利要求1所述的用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置，其特征在于：所述匀流隔热板(1)的半径为R，相邻两层匀流隔热板(1)之间的间距为0.5R至2R。

7.如权利要求1所述的用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置，其特征在于：所述转动板(7)采用铝合金制造。

8.如权利要求1所述的用于石墨烯薄膜生长设备的匀流隔热装置，其特征在于：所述环形凸台(2)采用隔热材料制造。