[发明专利]基板搬送装置、检测位置校正方法及基板处理装置

摘要

本发明的目的在于提供能提高基板的搬送精度的基板搬送装置、检测位置校正方法及基板处理装置。检测坐标计算部在进行检测位置校正动作时和进行基板搬送动作时，计算在机械手的基准位置上放置的基准基板或基板的外周部的检测坐标。偏移量计算部在进行检测位置校正动作时，基于检测坐标和设计坐标计算多个检测器的偏移量。检测坐标修正部在进行基板搬送动作时，基于多个检测器的偏移量修正检测坐标；坐标信息修正部基于修正后的检测坐标修正坐标信息。移动控制部基于修正后的坐标信息来控制上下方向驱动电动机、水平方向驱动电动机及旋转方向驱动电动机，并控制上机械手进退用驱动电动机或下机械手进退用驱动电动机，以将基板从接收位置搬送到放置位置。

主权项

1.一种搬送基板的基板搬送装置，具有：可动部，第一驱动部，使所述可动部移动，保持部，保持基板，第二驱动部，使所述保持部相对于所述可动部在第一方向上移动；多个检测器，分别检测由所述保持部移动的基板的外周部的多个部分，以及搬送控制部，用于控制所述第一和第二驱动部；所述搬送控制部包括：偏离量计算部，在进行检测位置校正动作时，由所述第二驱动部使所述保持部相对于所述可动部移动，并且基于所述多个检测器的输出信号，计算所述多个检测器的设计位置与所述多个检测器的实际位置之间的偏离量，位置检测部，在进行基板搬送动作时，基于所述多个检测器的输出信号和由所述偏离量计算部计算出的偏离量，检测所述保持部上的基板的位置，以及移动控制部，基于由所述位置检测部检测的位置，控制所述第一和第二驱动部。