[发明专利]基板搬送装置、检测位置校正方法及基板处理装置

权利要求书

1.一种搬送基板的基板搬送装置，具有：

可动部，

第一驱动部，使所述可动部移动，

保持部，保持基板，

第二驱动部，使所述保持部相对于所述可动部在第一方向上移动；

多个检测器，分别检测由所述保持部移动的基板的外周部的多个部分，以及

搬送控制部，用于控制所述第一和第二驱动部；

所述搬送控制部包括：

偏离量计算部，在进行检测位置校正动作时，由所述第二驱动部使所述保持部相对于所述可动部移动，并且基于所述多个检测器的输出信号，计算所述多个检测器的设计位置与所述多个检测器的实际位置之间的偏离量，

位置检测部，在进行基板搬送动作时，基于所述多个检测器的输出信号和由所述偏离量计算部计算出的偏离量，检测所述保持部上的基板的位置，以及

移动控制部，基于由所述位置检测部检测的位置，控制所述第一和第二驱动部。

2.根据权利要求1所述的基板搬送装置，其中，

所述偏离量包括第一偏移量，所述第一偏移量表示所述多个检测器的设计位置与所述多个检测器的实际位置之间在所述第一方向上的偏离量。

3.根据权利要求2所述的基板搬送装置，其中，

所述保持部具有预先设定的基准位置，并在进行所述检测位置校正动作时，将基准基板保持在所述基准位置，

所述偏离量计算部在进行所述检测位置校正动作时，使将所述基准基板保持在所述基准位置的所述保持部移动，并且基于所述多个检测器的输出信号来计算所述第一偏移量。

4.根据权利要求3所述的基板搬送装置，其中，

所述基板搬送装置还具有抵接构件，所述抵接构件在进行所述检测位置校正动作时能安装于所述保持部，

所述基准基板通过抵接于所述抵接构件，从而被定位在所述基准位置。

5.根据权利要求2所述的基板搬送装置，其中，

所述偏离量还包括第二偏移量，所述第二偏移量表示所述多个检测器的设计位置与所述多个检测器的实际位置之间在与所述第一方向交叉的第二方向上的偏离量。

6.根据权利要求5所述的基板搬送装置，其中，

在进行所述检测位置校正动作时，所述保持部将基准基板保持于在所述第二方向上互不相同的第一和第二位置，

在进行所述检测位置校正动作时，所述偏离量计算部使将所述基准基板保持在所述第一位置的所述保持部移动，使将所述基准基板保持在所述第二位置的所述保持部移动，基于在移动将所述基准基板保持在所述第一位置的所述保持部时的所述多个检测器的输出信号和在移动将所述基准基板保持在所述第二位置的所述保持部时的所述多个检测器的输出信号，计算所述第一和第二偏移量。

7.根据权利要求6所述的基板搬送装置，其中，

所述基板搬送装置还具有第一和第二抵接构件，在进行所述检测位置校正动作时，所述第一和第二抵接构件能安装于所述保持部，

所述第一和第二抵接构件具有互不相同的尺寸，

所述第一和第二抵接构件分别被安装于所述保持部的第一和第二部分，且所述基准基板抵接于所述第一和第二抵接构件，由此所述基准基板被定位在所述第一位置，所述第一和第二抵接构件分别被安装于所述保持部的所述第二和第一部分，且所述基准基板抵接于所述第一和第二抵接构件，由此所述基准基板被定位在所述第二位置。

8.根据权利要求1～7中的任一项所述的基板搬送装置，其中，

在进行所述检测位置校正动作时，所述偏离量计算部计算取决于所述保持部的移动速度的偏离量。