[发明专利]基板搬送装置、检测位置校正方法及基板处理装置

说明书

本发明的目的在于提供能提高基板的搬送精度的基板搬送装置、检测位置校正方法及基板处理装置。检测坐标计算部在进行检测位置校正动作时和进行基板搬送动作时，计算在机械手的基准位置上放置的基准基板或基板的外周部的检测坐标。偏移量计算部在进行检测位置校正动作时，基于检测坐标和设计坐标计算多个检测器的偏移量。检测坐标修正部在进行基板搬送动作时，基于多个检测器的偏移量修正检测坐标；坐标信息修正部基于修正后的检测坐标修正坐标信息。移动控制部基于修正后的坐标信息来控制上下方向驱动电动机、水平方向驱动电动机及旋转方向驱动电动机，并控制上机械手进退用驱动电动机或下机械手进退用驱动电动机，以将基板从接收位置搬送到放置位置。

技术领域

本发明涉及用于搬送基板的基板搬送装置、基板搬送装置中用于校正基板检测位置的检测位置校正方法以及基板处理装置。

背景技术

基板处理装置用于对半导体基板、液晶显示装置用基板、等离子体显示器用基板、光盘用基板、磁盘用基板、光磁盘用基板、光掩膜用基板等各种基板进行各种处理。

这样的基板处理装置中，通常对一张基板在多个处理单元中连续地进行处理。因此，基板处理装置中设置有用于在多个处理单元之间搬送基板的搬送机构(基板搬送装置)。

例如，日本特开2014-22589号公报中记载的基板处理装置的搬送机构具有用于保持基板的机械手。此外，搬送机构中设置有多个用于检测基板在机械手上的位置的检测器。对于各处理单元，存储有表示机械手接收基板的位置及基板的放置位置的坐标信息。在机械手上预先设定有基准位置。当在一个处理单元中基板偏离了规定位置时，搬送机构的机械手在基板的中心偏离了机械手的基准位置的状态下接收基板。该情况下，在将基板放置于其他处理单元前，基于多个检测器的检测结果，检测到基板相对于机械手上的基准位置的偏离。根据检测到的偏离，修正坐标信息，以消除被机械手放置到其他处理单元中的基板的中心位置与其他处理单元中的规定位置的偏离。根据修正后的坐标信息来控制搬送机构。由此，将基板放置于其他处理单元中的规定位置。

发明内容

近年来，要求更高精度的基板处理。上述的基板处理装置中，在搬送机构的多个检测器的位置精度较高的情况下，能够将基板准确地搬送至多个处理单元中的规定位置。然而，在制造或维护基板搬送装置时，高精度地调整多个检测器的位置是有限度的。

本发明的目的在于，提供一种能够提高基板的搬送精度的基板搬送装置、检测位置校正方法及基板处理装置。

(1)本发明的一个方面的基板搬送装置是一种搬送基板的基板搬送装置，具有：可动部，第一驱动部，使可动部移动，保持部，保持基板，第二驱动部，使保持部相对于可动部在第一方向上移动；多个检测器，分别检测由保持部移动的基板的外周部的多个部分，以及搬送控制部，用于控制第一和第二驱动部；搬送控制部包括：偏离量计算部，在进行检测位置校正动作时，由第二驱动部使保持部相对于可动部移动，并且基于多个检测器的输出信号，计算多个检测器的设计位置与多个检测器的实际位置之间的偏离量，位置检测部，在进行基板搬送动作时，基于多个检测器的输出信号和由偏离量计算部计算出的偏离量，检测保持部上的基板的位置，以及移动控制部，在进行基板搬送动作时，基于由位置检测部检测的位置，控制第一和第二驱动部。

该基板搬送装置中，在进行检测位置校正动作时，保持部相对于可动部移动。此时，基于多个检测器的输出信号来计算多个检测器的设计位置与多个检测器的实际位置之间的偏离量。在进行基板搬送动作时，基于多个检测器的输出信号及计算出的偏离量来检测基板的位置。由此，即使在多个检测器的设计位置与实际位置之间存在偏离的情况下，也能够将基板搬送到规定位置。因此，能够提高基板的搬送精度。

(2)偏离量也可以包括第一偏移量，该第一偏移量表示多个检测器的设计位置与多个检测器的实际位置之间在第一方向上的的偏离量。

该情况下，计算第一方向上的多个检测器的设计位置与实际位置之间的偏离量作为第一偏移量。由此，修正第一方向上的基板的检测位置的偏离。