[发明专利]曝光装置及曝光方法有效
| 申请号： | 201711449976.7 | 申请日： | 2014-03-26 |
| 公开（公告）号： | CN108227408B | 公开（公告）日： | 2020-02-14 |
| 发明（设计）人： | 加藤正纪 | 申请（专利权）人： | 株式会社尼康 |
| 主分类号： | G03F7/24 | 分类号： | G03F7/24 |
| 代理公司： | 11256 北京市金杜律师事务所 | 代理人： | 陈伟;王娟娟 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供一种能够以高生产性来生产高质量基板的基板处理装置、器件制造方法以及光罩。具备：光罩支承部件，其在照明区域内以沿着按规定曲率弯曲成圆筒面状的第一面的方式支承光罩的图案；基板支承部件，其在投影区域内以沿着规定的第二面的方式支承所述基板；以及驱动机构，其以使光罩的图案向规定的扫描曝光方向移动的方式使光罩支承部件旋转，且以使基板向扫描曝光方向移动的方式使基板支承部件移动，光罩支承部件在将第一面的直径设为φ、将第一面在与扫描曝光方向正交的方向上的长度设为L的情况下，满足1.3≤L/φ≤3.8。 | ||
| 搜索关键词： | 光罩 扫描曝光方向 支承部件 基板 基板支承部件 支承 移动 基板处理装置 图案 方式使光 高生产性 曝光装置 器件制造 曲率弯曲 驱动机构 投影区域 圆筒面状 照明区域 正交的 曝光 生产 | ||
【主权项】：
1.一种圆筒光罩，其沿着相对于中心线具有固定半径且直径为φ的圆筒面形成显示面板用的光罩图案，且以能够绕着所述中心线旋转的方式安装在曝光装置内，其特征在于，/n在所述圆筒面上形成有显示面板用的长方形的光罩区域，该光罩区域包括长边尺寸为Ld、短边尺寸为Lc的显示画面区域、和与其周边相邻地设置的周边电路区域，/n当将所述光罩区域的长边方向的尺寸设为所述长边尺寸Ld的e
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