[发明专利]曝光装置及曝光方法

权利要求书

1.一种圆筒光罩，其沿着相对于中心线具有固定半径且直径为φ的圆筒面形成显示面板用的光罩图案，且以能够绕着所述中心线旋转的方式安装在曝光装置内，其特征在于，

在所述圆筒面上形成有显示面板用的长方形的光罩区域，该光罩区域包括长边尺寸为Ld、短边尺寸为Lc的显示画面区域、和与其周边相邻地设置的周边电路区域，

当将所述光罩区域的长边方向的尺寸设为所述长边尺寸Ld的e₁倍、将所述光罩区域的短边方向的尺寸L设为所述短边尺寸Lc的e₂倍时，其中，e₁≥1，e₂≥1，所述圆筒面的在所述中心线的方向上的长度设定为所述尺寸L以上，由圆周率π和所述直径φ确定的所述圆筒面的整个圆周长度πφ设定为所述尺寸Ld的e1倍以上，并且所述尺寸L与所述直径φ的比率L/φ设定为1.3≤L/φ≤3.8的范围，而且所述直径φ设定为能够安装在所述曝光装置上的最小直径φ1与最大直径φ2的范围内。

2.根据权利要求1所述的圆筒光罩，其特征在于，

具有用于沿着所述直径φ的圆筒面保持所述光罩图案的圆筒基材。

3.根据权利要求2所述的圆筒光罩，其特征在于，

所述圆筒基材由金属制的圆筒体构成，

所述光罩图案构成为反射型光罩图案，所述反射型光罩图案通过在所述圆筒基材的周面上直接形成针对来自所述曝光装置的照明光的高反射部和低反射部而成。

4.根据权利要求2所述的圆筒光罩，其特征在于，

所述光罩图案构成为反射型薄片光罩，所述反射型薄片光罩通过在薄板上形成针对来自所述曝光装置的照明光的高反射部和低反射部而成，

所述反射型薄片光罩沿着所述圆筒基材的周面而被保持为圆筒状，

所述直径φ为所述反射型薄片光罩的形成有图案的光罩面的直径。

5.根据权利要求4所述的圆筒光罩，其特征在于，

所述圆筒基材以能够装拆所述反射型薄片光罩的方式保持所述反射型薄片光罩。

6.根据权利要求2所述的圆筒光罩，其特征在于，

所述圆筒基材由圆环状的透明筒构成，

所述光罩图案构成为透过型光罩图案，所述透过型光罩图案通过用将来自所述曝光装置的照明光遮光的遮光层在所述透明筒的周面上直接形成图案而成。

7.根据权利要求2所述的圆筒光罩，其特征在于，

所述圆筒基材由圆环状的透明筒构成，

所述光罩图案构成为由薄玻璃板形成的透过型薄片光罩，通过将来自所述曝光装置的照明光遮光的遮光层在所述薄玻璃板上形成有图案，

所述透过型薄片光罩沿着所述圆筒基材的周面而被保持为圆筒状，

所述直径φ为所述透过型薄片光罩的形成有图案的光罩面的直径。

8.根据权利要求7所述的圆筒光罩，其特征在于，

所述圆筒基材以能够装拆所述透过型薄片光罩的方式保持所述透过型薄片光罩。

9.根据权利要求1～8中任一项所述的圆筒光罩，其特征在于，

所述尺寸L与所述直径φ的关系还设定为满足1.3≤L/φ≤2.6。

10.根据权利要求1～8中任一项所述的圆筒光罩，其特征在于，

所述光罩图案包括：与用于对配置在所述显示画面区域的各像素进行驱动的薄膜半导体用的结构对应的图案、和与配置在所述周边电路区域并用于驱动显示画面的电路对应的图案。

11.根据权利要求1～8中任一项所述的圆筒光罩，其特征在于，

所述显示画面区域与液晶显示器或有机EL显示器的显示画面对应。

12.根据权利要求1～8中任一项所述的圆筒光罩，其特征在于，

所述显示画面区域的所述长边尺寸Ld与所述短边尺寸Lc的比为16：9或2：1。