[发明专利]一种制备蒸镀用ITO颗粒的工艺方法在审
申请号: | 201711425639.4 | 申请日: | 2017-12-25 |
公开(公告)号: | CN109956745A | 公开(公告)日: | 2019-07-02 |
发明(设计)人: | 王文军;刘敏;张天芳 | 申请(专利权)人: | 株洲冶炼集团股份有限公司;王文军 |
主分类号: | C04B35/453 | 分类号: | C04B35/453;C04B35/638;C04B35/64;C23C14/24;C23C14/08 |
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地址: | 412000 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 本发明提供了一种制备蒸镀用ITO颗粒的工艺方法,该方法包括在无压烧结炉中进行如下步骤:(1)将ITO坯体在氧气流动环境中,以10~100℃/h的升温速率加热至180‑240℃,再以10~30℃/h的升温速率加热至400‑600℃,升温结束后保温1~4h;(2)在氧气流动环境中,以100~200℃/h的升温速率加热至1300~1500℃进行无压氧气烧结,烧结时间为1~10h。本发明的制备方法,简化了粉体制备控制条件,有利于单独控制粉体品质,并且简化了成型、脱脂烧结工艺,在国内ITO颗粒制备方法中尚属于首次。本发明还提供了一种ITO颗粒,该ITO颗粒符合真空蒸镀法的技术指标要求,结构均匀,不易开裂。 | ||
搜索关键词: | 制备 加热 氧气流动 烧结 蒸镀 技术指标要求 无压烧结炉 真空蒸镀法 单独控制 粉体制备 控制条件 烧结工艺 脱脂 粉体 坯体 无压 保温 氧气 成型 | ||
【主权项】:
1.一种制备蒸镀用ITO颗粒的工艺方法,其特征在于,包括在无压烧结炉中进行如下步骤:(1)将ITO坯体在氧气流动环境中,以10~100℃/h的升温速率加热至180‑240℃,再以10~30℃/h的升温速率加热至400‑600℃,升温结束后保温1~4h;(2)在氧气流动环境中,以100~200℃/h的升温速率加热至1300~1500℃进行无压氧气烧结,烧结时间为1~10h,得到ITO颗粒,所述步骤(1)中,以60~100℃/h的升温速率加热至200‑220℃,再以10~30℃/h的升温速率加热至500‑600℃,升温结束后保温1~2h,所述无压烧结炉中氧气流量为5~50L/min,所述ITO坯体是通过将In2O3粉体、SnO2粉体混合添加水和分散剂制得浆料后,先后经过球磨混合、喷雾造粒、金属模具压制成型后制备得到的。
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