[发明专利]一种半导体器件及电子装置有效
申请号: | 201711421293.0 | 申请日: | 2017-12-25 |
公开(公告)号: | CN109962039B | 公开(公告)日: | 2021-01-26 |
发明(设计)人: | 崔登峰;宋春;仇峰;曾红林;周鸣 | 申请(专利权)人: | 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司 |
主分类号: | H01L23/31 | 分类号: | H01L23/31;H04M1/02 |
代理公司: | 北京市磐华律师事务所 11336 | 代理人: | 董巍;高伟 |
地址: | 201203 *** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明提供一种半导体器件及电子装置,所述半导体器件包括:半导体衬底;形成于所述半导体衬底上的芯片;围绕所述芯片的密封环;位于所述芯片与所述密封环之间的隔离区,所述隔离区的层间介电层中形成有若干交错排列的阻挡结构。本发明提供的半导体器件,在密封环与芯片之间增加了阻挡结构,从而避免刻蚀液进入密封环内部的芯片,进一步避免内部芯片受到损伤。 | ||
搜索关键词: | 一种 半导体器件 电子 装置 | ||
【主权项】:
1.一种半导体器件,其特征在于,所述半导体器件包括:半导体衬底;形成于所述半导体衬底上的芯片;围绕所述芯片的密封环;位于所述芯片与所述密封环之间的隔离区,所述隔离区的层间介电层中形成有若干交错排列的阻挡结构。
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