[发明专利]一种半导体器件及电子装置有效

专利信息
申请号: 201711421293.0 申请日: 2017-12-25
公开(公告)号: CN109962039B 公开(公告)日: 2021-01-26
发明(设计)人: 崔登峰;宋春;仇峰;曾红林;周鸣 申请(专利权)人: 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司;中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
主分类号: H01L23/31 分类号: H01L23/31;H04M1/02
代理公司: 北京市磐华律师事务所 11336 代理人: 董巍;高伟
地址: 201203 *** 国省代码: 上海;31
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摘要:
搜索关键词: 一种 半导体器件 电子 装置
【权利要求书】:

1.一种半导体器件,其特征在于,所述半导体器件包括:

半导体衬底;

形成于所述半导体衬底上的芯片;

围绕所述芯片的密封环;

位于所述芯片与所述密封环之间的隔离区,所述隔离区的层间介电层中形成有图案为回形纹的阻挡结构,所述阻挡结构首尾相连,从而形成连续的回形纹组成的环状结构。

2.根据权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,所述阻挡结构包括平行于所述半导体衬底的若干金属布线层,以及连接相邻的所述金属布线层的导电通孔。

3.根据权利要求2所述的半导体器件,其特征在于,所述阻挡结构还包括位于所述半导体衬底中的有源区、以及在所述有源区上由下至上依次层叠的栅极材料层、和/或金属硅化物阻挡层、和/或接触孔。

4.根据权利要求2所述的半导体器件,其特征在于,所述阻挡结构还包括位于所述金属布线层上方的钝化层。

5.根据权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,所述隔离区的宽度为5微米-10微米。

6.根据权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,所述密封环的宽度为5微米-10微米。

7.根据权利要求1所述的半导体器件,其特征在于,所述密封环包括内层密封环和外层密封环。

8.一种电子装置,其特征在于,包括如权利要求1-7之一所述的半导体器件。

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