[发明专利]一种圆形大尺寸IGBT芯片压接封装结构及制造方法有效
申请号: | 201711410556.8 | 申请日: | 2017-12-23 |
公开(公告)号: | CN108172617B | 公开(公告)日: | 2020-04-17 |
发明(设计)人: | 王俊;李锋;曾重 | 申请(专利权)人: | 湖南大学 |
主分类号: | H01L29/739 | 分类号: | H01L29/739;H01L23/04;H01L23/20;H01L23/367;H01L21/52;H01L21/54 |
代理公司: | 北京精金石知识产权代理有限公司 11470 | 代理人: | 李旦 |
地址: | 410082 湖*** | 国省代码: | 湖南;43 |
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摘要: | 发明公布了一种圆形大尺寸IGBT芯片压接封装结构及制造方法,其包括自上而下依次设置的发射极端盖、发射极钼片、栅极弹簧针组件、栅极金属、发射极钼片定位架、柔软导电金属薄片、发射极金属、IGBT芯片、集电极金属、集电极带定位孔钼片、集电极端盖等。采用此压接封装结构,故障扇区隔离方法简单,只需更换故障区扇形导电钼片为绝缘片,并将芯片表面栅极金属特定连接处切断;器件通过集电极端盖和发射极端盖进行双面散热;无金属键合线及焊接界面,消除传统器件键合点和焊接层疲劳失效的瓶颈,对热机械疲劳的抵抗力较强;器件内部采用对称结构设计,降低内部各扇形分区杂散电感,使杂散电感分布趋于一致,减小模块的寄生参数,提高器件的电气性能。 | ||
搜索关键词: | 一种 圆形 尺寸 igbt 芯片 封装 结构 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种圆形大尺寸IGBT芯片压接封装结构,其特征在于,封装结构包括自上而下依次设置的发射极端盖(1)、发射极钼片(2)、栅极弹簧针组件(3)、栅极金属(9)、发射极钼片定位架(4)、柔软导电金属薄片(10)、发射极金属(11)、IGBT芯片(12)、集电极金属(14)、集电极带定位孔钼片(13)、定位销(7)、集电极端盖(14)、胶圈(5)、金属裙边(8)和陶瓷管壳(6);其中IGBT芯片(12)的顶面设置有发射极金属层和栅极金属层,底面设置有集电极金属层;IGBT芯片(12)顶面表层的发射极金属(11)与栅极金属(9)采用特殊的多点与面相连接的方式连接,且发射极金属(11)依次与柔软导电金属薄片(10)、发射极钼片(2)和发射极端盖(1)相连接,通过发射极钼片定位架(4)上的扇形通孔固定;栅极金属(9)和栅极弹簧针组件(3)相连,栅极弹簧针组件(3)穿过发射极钼片定位架(4)和陶瓷管壳(6);IGBT芯片(12)底面表层的集电极金属(15)依次与集电极带定位孔钼片(13)和集电极端盖(14)相连接;IGBT芯片(12)、发射极钼片(2)、集电极带定位孔钼片(13)、栅极弹簧针组件(3)以及其上的连接的金属端盖等直接压力接触互联;器件内部采用对称结构设计,且整个模块通过冷压焊进行压接密封封装,并填充惰性气体。2.根据权利要求1所述的一种圆形大尺寸IGBT芯片压接封装结构,其特征在于,所述IGBT芯片(12)为圆形大尺寸芯片,且表面刻有扇形分区。3.根据权利要求1所述的一种圆形大尺寸IGBT芯片压接封装结构,其特征在于,所述结构内部填充的惰性气体为氮气。4.根据权利要求1所述的一种圆形大尺寸IGBT芯片压接封装结构,其特征在于,所述特殊的多点与面相连接的方式为:连接IGBT芯片(12)顶面表层的发射极金属(11)为均布的多个隔断的扇形结构并与多个条状结构的栅极金属(9)采用多点与面相连接的方式连接。5.根据权利要求1所述的一种圆形大尺寸IGBT芯片压接封装结构,其特征在于,所述发射极钼片(2)为多个独立的扇形钼片组成,发射极钼片(2)与发射极端盖(1)上的扇形突起等面积接触。6.根据权利要求1所述的一种圆形大尺寸IGBT芯片压接封装结构,其特征在于,发射极钼片定位架(4)上预留有用于固定放置发射极钼片(2)和柔软导电金属薄片(10)的扇形通孔,且通过扇形通孔将发射极端盖(1)固定。7.根据权利要求1‑6任意一项所述的一种圆形大尺寸IGBT芯片压接封装结构,其特征在于,所述柔软导电金属薄片(10)为多个独立的扇形柔软导电金属薄片,并与发射极钼片和发射极金属等面积接触。8.一种圆形大尺寸IGBT芯片压接封装结构的制造方法,其特征在于,采用权利要求1‑6所述结构,其制作方式为:
第一步,制作封装所需的各部分零部件;
第二步,按结构特征要求进行叠放并封装:整个模块通过冷压焊进行压接密封封装,并填充氮气惰性气体;
第三步,形成最终产品并封装。
9.根据权利要求8所述的一种圆形大尺寸IGBT芯片压接封装结构的制造方法,其特征在于,如果某一扇区经检测被判定为故障扇区,通过更换发射极钼片(2)上某个故障区扇形导电钼片为绝缘片实现故障扇区的隔离。10.根据权利要求8所述的一种圆形大尺寸IGBT芯片压接封装结构的制造方法,其特征在于,在实现故障扇区的隔离时,需要将IGBT芯片(12)的表面栅极金属(9)与发射极金属(11)的连接处切断。
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