[发明专利]一种基于局域电沉积的引线键合焊点结构的制备方法有效

专利信息
申请号: 201711377901.2 申请日: 2017-12-19
公开(公告)号: CN107946201B 公开(公告)日: 2020-03-31
发明(设计)人: 郑振;王春青;孔令超;安荣 申请(专利权)人: 哈尔滨工业大学
主分类号: H01L21/60 分类号: H01L21/60
代理公司: 哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206 代理人: 高媛
地址: 150000 黑龙*** 国省代码: 黑龙江;23
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摘要: 一种基于局域电沉积的引线键合焊点结构的制备方法,属于电子封装技术领域。所述方法如下:对引线材料及焊盘表面进行超声清洗;将引线材料的端头放置在焊盘表面的中心位置;根据焊盘金属种类,选择与之相匹配的金属电沉积溶液,在焊盘与引线的连接处局域进行电镀加工;调控电沉积电流密度和电镀时间,控制局域电沉积键合接头的形貌,得到预期的键合焊点结构。在引线键合工艺中,使用新型的非金属及复合材料取代传统金属引线材料,可以大幅降低互连电阻,提高电路速度和效率,提高电子器件的可靠性。本方法应用于不同焊盘材料和引线材料的键合工艺中,可进一步提高产品可靠性。整个键合过程流程简单,无需加热,加压和超声辅助。
搜索关键词: 一种 基于 局域 沉积 引线 键合焊点 结构 制备 方法
【主权项】:
一种基于局域电沉积的引线键合焊点结构的制备方法,其特征在于:所述方法具体步骤如下:步骤一:使用乙醇和丙酮对引线材料及焊盘表面分别进行超声清洗10~20min;步骤二:将引线材料的端头放置在焊盘表面的中心位置;步骤三:根据焊盘金属种类,选择与之相匹配的金属电沉积溶液,在焊盘与引线的连接处局域进行电镀加工;步骤四:调控电沉积电流密度和电镀时间,控制局域电沉积键合接头的形貌,得到预期的键合焊点结构。
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