[发明专利]一种基于局域电沉积的引线键合焊点结构的制备方法有效

专利信息
申请号: 201711377901.2 申请日: 2017-12-19
公开(公告)号: CN107946201B 公开(公告)日: 2020-03-31
发明(设计)人: 郑振;王春青;孔令超;安荣 申请(专利权)人: 哈尔滨工业大学
主分类号: H01L21/60 分类号: H01L21/60
代理公司: 哈尔滨龙科专利代理有限公司 23206 代理人: 高媛
地址: 150000 黑龙*** 国省代码: 黑龙江;23
权利要求书: 查看更多 说明书: 查看更多
摘要:
搜索关键词: 一种 基于 局域 沉积 引线 键合焊点 结构 制备 方法
【权利要求书】:

1.一种基于局域电沉积的引线键合焊点结构的制备方法,其特征在于:所述方法具体步骤如下:

步骤一:使用乙醇和丙酮对引线材料及焊盘表面分别进行超声清洗10~20min;所选的引线材料为高导电非金属材料或高导电复合材料,所述的高导电非金属材料为碳纳米管及其纤维或者石墨烯及其片层结构;所述的高导电复合材料为碳纳米管、石墨烯表面增强金属引线或石墨烯体相复合金属引线;

步骤二:将引线材料的端头放置在焊盘表面的中心位置;用于连接的两种焊盘为同种金属或不同种金属,所述的金属为金、银、铜、铝、镍或铝合金;

步骤三:根据焊盘金属种类,选择与之相匹配的金属电沉积溶液,在焊盘与引线的连接处局域进行电镀加工;进行电镀加工时,电沉积溶液应完全包覆引线端头与焊盘的结合处,电沉积溶液在焊盘表面铺展面积应小于整个焊盘的2/3;使用电镀电源在引线端头与焊盘的结合处进行电沉积加工,形成与焊盘金属种类一致的金属镀层,实现引线与金属焊盘的连接,形成电沉积引线键合接头;

步骤四:调控电沉积电流密度和电镀时间,控制局域电沉积键合接头的形貌,得到预期的键合焊点结构;所述的电流密度为0.5~5A/dm2,电镀时间为10~600s;焊点结构中连接层金属包覆引线材料的高度为低于引线高度的二分之一、等于引线高度的二分之一、高于引线高度的二分之一但低于引线高度本身和完全包覆引线材料;

步骤五:电沉积完成后,对电沉积加工部分,即连接接头进行整体清洗,形成局域电沉积引线键合焊点结构,干燥和测试;所述的整体清洗为使用去离子水清洗两遍后,使用乙醇清洗一遍;对清洗后的焊点结构进行干燥处理,干燥温度为50-120℃,干燥时间为20-300s。

下载完整专利技术内容需要扣除积分,VIP会员可以免费下载。

该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息,商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于哈尔滨工业大学,未经哈尔滨工业大学许可,擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作,请联系【客服

本文链接:http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201711377901.2/1.html,转载请声明来源钻瓜专利网。

×

专利文献下载

说明:

1、专利原文基于中国国家知识产权局专利说明书;

2、支持发明专利 、实用新型专利、外观设计专利(升级中);

3、专利数据每周两次同步更新,支持Adobe PDF格式;

4、内容包括专利技术的结构示意图流程工艺图技术构造图

5、已全新升级为极速版,下载速度显著提升!欢迎使用!

请您登陆后,进行下载,点击【登陆】 【注册】

关于我们 寻求报道 投稿须知 广告合作 版权声明 网站地图 友情链接 企业标识 联系我们

钻瓜专利网在线咨询

周一至周五 9:00-18:00

咨询在线客服咨询在线客服
tel code back_top