[发明专利]一种化学气相沉积炉

摘要

本申请公开了一种化学气相沉积炉，包括炉壳和炉壳内部的沉积室，沉积室中部设有发热体，沉积室侧壁上设有进气管路，沉积室顶盖上设有气压调节环，气压调节环用于调节产品内侧与产品外侧之间的气压大小。该化学气相沉积炉，主要用于多孔产品的增密处理，产品的顶部与气压调节环接触，发热体对产品内侧进行加热，沿产品厚度方向形成温度梯度，碳源气体从进气管路进入沉积室，通过气压调节环调节产品外侧与内侧的气压，使产品外侧与内侧形成气压差，产品外侧的气压大于产品内侧的气压，因而碳源气体在气压差的作用下可强行通过筒状产品上孔洞，从而可在产品内部的孔洞中充分进行沉积反应，改善沉积效果，提高产品的整体密度，且沉积速率快。

主权项

1.一种化学气相沉积炉，包括炉壳(1)和炉壳内部的沉积室(2)，其特征在于，所述沉积室(2)侧壁上设有进气管路(3)，所述沉积室(2)中部设有发热体(4)，所述沉积室(2)顶盖(5)上设有气压调节环(6)，所述气压调节环(6)用于调节产品(7)内侧与产品(7)外侧之间的气压大小。