[发明专利]一种化学气相沉积炉在审
| 申请号： | 201711316773.0 | 申请日： | 2017-12-12 |
| 公开（公告）号： | CN108048817A | 公开（公告）日： | 2018-05-18 |
| 发明（设计）人： | 胡祥龙;戴煜;周岳兵;黄启忠;谭瑞轩 | 申请（专利权）人： | 湖南顶立科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/26 | 分类号： | C23C16/26;C23C16/455;C23C16/46 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 罗满 |
| 地址： | 410118 湖南省长*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 化学 沉积 | ||
1.一种化学气相沉积炉，包括炉壳(1)和炉壳内部的沉积室(2)，其特征在于，所述沉积室(2)侧壁上设有进气管路(3)，所述沉积室(2)中部设有发热体(4)，所述沉积室(2)顶盖(5)上设有气压调节环(6)，所述气压调节环(6)用于调节产品(7)内侧与产品(7)外侧之间的气压大小。
2.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述沉积室(2)底部向上凸起(8)，所述发热体(4)固定在所述凸起(8)上。
3.根据权利要求2所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述凸起(8)呈柱状，所述发热体(4)固定在凸起(8)的侧壁上。
4.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述沉积室(2)侧壁上设有第一气压传感器(9)，所述压力传感器用于测试沉积室(2)内的气压。
5.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于，至少设有两个所述进气管路(3)，所述进气管路(3)均匀分布在所述沉积室(2)的侧壁上。
6.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述沉积室(2)顶盖(5)上设有排气口(11)，所述排气口(11)用于排出反应后的气体。
7.根据权利要求6所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述排气口(11)处设有第二气压传感器(10)。
8.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述炉壳(1)内部设有水冷夹层，所述水冷夹层上设有进水口(12)和出水口(13)。
9.根据权利要求1所述的化学气相沉积炉，其特征在于，所述炉壳(1)内部设有保温层(14)，所述保温层(14)围成所述沉积室(2)。
10.根据权利要求1所述的，其特征在于，所述沉积室(2)内，在所述产品(7)内侧设有第一温度传感器，所述产品(7)的外侧设有第二温度传感器。
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C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
