[发明专利]磨削装置在审
| 申请号： | 201711237844.8 | 申请日： | 2017-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN108177038A | 公开（公告）日： | 2018-06-19 |
| 发明（设计）人： | 李宰荣;甲斐贤哉 | 申请（专利权）人： | 株式会社迪思科 |
| 主分类号： | B24B7/22 | 分类号： | B24B7/22;B24B41/06;B24B27/00;B24B41/00;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京三友知识产权代理有限公司 11127 | 代理人： | 于靖帅;乔婉 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 提供磨削装置，增加每单位时间的被加工物的磨削加工量。磨削装置在转动工作台(12)上将对被加工物(W)进行保持的多个卡盘工作台支承为能够转动，该磨削装置具有：第1磨削单元(20)，其一边使第1磨削磨轮(25)旋转一边对被加工物的被磨削面(Wa)实施第1磨削；和第2磨削单元(30)，其一边使第2磨削磨轮(35)旋转一边对被加工物的被磨削面(Wa)实施第2磨削，其中，卡盘工作台(TA、TB)与第1磨削单元和第2磨削单元对应地分别各配设两个，在设置于第1磨削磨轮的磨削磨具(26)的磨削面(26a)与两个卡盘工作台的两个吸附面相对置的半径区域中实施磨削，在设置于第2磨削磨轮的磨削磨具(36)的磨削面(36a)与两个卡盘工作台的两个吸附面相对置的半径区域中实施磨削。 | ||
| 搜索关键词： | 磨削 卡盘工作台 被加工物 磨削装置 磨削面 磨轮 半径区域 磨削磨具 吸附面 转动工作台 磨削加工 支承 转动 | ||
【主权项】：
1.一种磨削装置，其至少包含：多个卡盘工作台，它们对被加工物进行保持；转动工作台，其能够旋转，并将该卡盘工作台支承为能够转动；第1磨削单元，其对该卡盘工作台所保持的被加工物的被磨削面实施第1磨削；以及第2磨削单元，其对该卡盘工作台所保持的被实施了该第1磨削的该被加工物的被磨削面实施第2磨削，该磨削装置的特征在于，该第1磨削单元至少包含：第1磨削磨轮，其配设有具有磨削面的磨削磨具；以及主轴组件，其具有对该第1磨削磨轮进行支承并能够旋转的主轴，该第2磨削单元至少包含：第2磨削磨轮，其配设有具有磨削面的磨削磨具；以及主轴组件，其具有对该第2磨削磨轮进行支承并能够旋转的主轴，该卡盘工作台与该第1磨削单元和该第2磨削单元对应地分别各配设两个，在配设于该第1磨削磨轮的该磨削磨具的磨削面与两个该卡盘工作台的两个吸附面相对置的半径区域中实施磨削，在配设于该第2磨削磨轮的该磨削磨具的磨削面与两个该卡盘工作台的两个吸附面相对置的半径区域中实施磨削。
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