[发明专利]成膜装置有效
| 申请号： | 201711130137.9 | 申请日： | 2017-11-15 |
| 公开（公告）号： | CN108070904B | 公开（公告）日： | 2023-01-13 |
| 发明（设计）人： | 铃木邦彦;池谷尚久;矢岛雅美;原一都;藤林裕明;松浦英树;铃木克己 | 申请（专利权）人： | 纽富来科技股份有限公司 |
| 主分类号： | C30B25/02 | 分类号： | C30B25/02;C23C16/44 |
| 代理公司： | 北京鸿元知识产权代理有限公司 11327 | 代理人： | 赵红伟;陈英俊 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明的实施方式的成膜装置具备：成膜室，可收容基板；气体供给部，设置在成膜室的上部，具有向基板的成膜面上供给气体的多个喷嘴；加热器，对基板进行加热；以及第一保护罩，在与气体供给部的多个喷嘴相对应的位置具有多个开口部。 | ||
| 搜索关键词： | 装置 | ||
【主权项】：
1.一种成膜装置，其具备：成膜室，可收容基板；气体供给部，设置在所述成膜室的上部，具有向所述基板的成膜面上供给气体的多个喷嘴；加热器，对所述基板进行加热；以及第一保护罩，在与所述气体供给部的所述多个喷嘴相对应的位置具有多个开口部。
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