[发明专利]一种基于钙钛矿薄膜的全无机发光器件及其制备方法

摘要

一种基于钙钛矿薄膜的全无机发光器件及其制备方法，属于半导体发光器件技术领域。自下而上由层叠结构的ITO玻璃衬底、ZnO电子传输层、无机钙钛矿CsPbX₃薄膜发光层、NiO空穴传输层和Au、Al等阳极电极层组成，其中ZnO电子传输层制备在ITO玻璃衬底的ITO导电膜上，ITO导电膜作为阴极电极层；X为Cl、Br或I元素。钙钛矿CsPbX₃薄膜表面平整无针孔，并且晶粒尺寸较小，容易实现高效辐射复合发光，发光纯度高并且通过调控卤素原子的掺杂比例可实现发光范围可调。所述器件中的电子/空穴传输层均采用性质稳定的无机材料ZnO/NiO，可以保证所述器件的工作环境要求低，性能稳定。

主权项

1.一种基于钙钛矿薄膜的全无机发光器件的制备方法，其步骤如下：(1)依次使用甲苯、丙酮、乙醇、去离子水对ITO玻璃衬底(1)进行超声清洗5～10分钟，之后将衬底用氮气枪吹干；(2)在清洗干净的ITO玻璃衬底(1)的ITO导电膜表面采用磁控溅射法沉积ZnO电子传输层(2)；(3)在ZnO电子传输层(2)表面采用热蒸发的方法沉积PbX₂层，然后将得到的器件浸泡至CsX的饱和乙醇溶液中10～30分钟，反应完全后在80～90℃条件下退火20～30分钟，制备得到无机钙钛矿CsPbX₃薄膜发光层(3)；X为Cl、Br或I元素；(4)在无机钙钛矿CsPbX₃薄膜发光层(3)表面采用磁控溅射的方法沉积NiO空穴传输层(4)；(5)在NiO空穴传输层(4)表面采用热蒸发的方法制备图形化的Au或Al阳极电极层(5)，从而得到基于钙钛矿薄膜的全无机发光器件。