[发明专利]一种基于钙钛矿薄膜的全无机发光器件及其制备方法有效
| 申请号： | 201711110768.4 | 申请日： | 2017-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN107863424B | 公开（公告）日： | 2019-06-21 |
| 发明（设计）人： | 张宝林;庄仕伟;张源涛;董鑫;马雪 | 申请（专利权）人： | 吉林大学 |
| 主分类号： | H01L33/00 | 分类号： | H01L33/00;H01L33/02;H01L33/26;B82Y30/00 |
| 代理公司： | 长春吉大专利代理有限责任公司 22201 | 代理人： | 刘世纯;王恩远 |
| 地址： | 130012 吉*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 基于 钙钛矿 薄膜 无机 发光 器件 及其 制备 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种基于钙钛矿薄膜的全无机发光器件的制备方法，其步骤如下：
(1)依次使用甲苯、丙酮、乙醇、去离子水对ITO玻璃衬底(1)进行超声清洗5～10分钟，之后将衬底用氮气枪吹干；
(2)在清洗干净的ITO玻璃衬底(1)的ITO导电膜表面采用磁控溅射法沉积ZnO电子传输层(2)；
(3)在ZnO电子传输层(2)表面采用热蒸发的方法沉积PbX2层，然后将得到的器件浸泡至CsX的饱和乙醇溶液中10～30分钟，反应完全后在80～90℃条件下退火20～30分钟，制备得到无机钙钛矿CsPbX3薄膜发光层(3)；X为Cl、Br或I元素；
(4)在无机钙钛矿CsPbX3薄膜发光层(3)表面采用磁控溅射的方法沉积NiO空穴传输层(4)；
(5)在NiO空穴传输层(4)表面采用热蒸发的方法制备图形化的Au或Al阳极电极层(5)，从而得到基于钙钛矿薄膜的全无机发光器件。
2.如权利要求1所述的一种基于钙钛矿薄膜的全无机发光器件的制备方法，其特征在于：图形化的Au或Al阳极电极层(5)为矩形或者圆形。
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