[发明专利]一种提高金属有机物化学气相沉积设备生产效率的炉外装片方法在审
| 申请号： | 201711085464.7 | 申请日： | 2017-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN109750278A | 公开（公告）日： | 2019-05-14 |
| 发明（设计）人： | 王建立;张义;马旺;王成新;肖成峰 | 申请（专利权）人： | 山东浪潮华光光电子股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C16/458 | 分类号： | C23C16/458;C30B25/12;C30B29/40 |
| 代理公司： | 济南金迪知识产权代理有限公司 37219 | 代理人： | 吕利敏 |
| 地址： | 261061 *** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 一种提高金属有机物化学气相沉积设备生产效率的炉外装片方法，其特征在于，在金属有机物化学气相沉积设备外进行装片、再将整个托盘和衬底一起放入预装室，吹扫去除水氧、然后将托盘和衬底一起放入所述金属有机物化学气相沉积设备的反应室，进行生长。本发明所述方法不但克服了现有技术的多个难题，还使金属有机物化学气相沉积设备生产效率大大提高。通过超净工作台保证衬底表面的洁净度。通过在超净工作台设置轴承和旋转盖板，保证托盘可以旋转装片，操作更加容易，不容易污染衬底。在超净工作台改进装片工具：增加了外置吸笔小泵，吸笔小泵的吸笔在工作台内，使用吸笔进行装片操作，避免使用镊子产生镊子印记，污染衬底，从而提升产品质量。 | ||
| 搜索关键词： | 金属有机物化学气相沉积设备 衬底 吸笔 超净工作台 托盘 生产效率 装片 镊子 外装片 放入 小泵 衬底表面 旋转盖板 装片操作 反应室 洁净度 工作台 吹扫 去除 水氧 外置 预装 污染 轴承 印记 保证 生长 改进 | ||
【主权项】：
1.一种提高金属有机物化学气相沉积设备生产效率的炉外装片方法，其特征在于，在金属有机物化学气相沉积设备外进行装片、再将整个托盘和衬底一起放入预装室，吹扫去除水氧、然后将托盘和衬底一起放入所述金属有机物化学气相沉积设备的反应室，进行生长。
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C23 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆，例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上，例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆，例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
C23C 对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
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C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
