[发明专利]一种提高金属有机物化学气相沉积设备生产效率的炉外装片方法

说明书

一种提高金属有机物化学气相沉积设备生产效率的炉外装片方法，其特征在于，在金属有机物化学气相沉积设备外进行装片、再将整个托盘和衬底一起放入预装室，吹扫去除水氧、然后将托盘和衬底一起放入所述金属有机物化学气相沉积设备的反应室，进行生长。本发明所述方法不但克服了现有技术的多个难题，还使金属有机物化学气相沉积设备生产效率大大提高。通过超净工作台保证衬底表面的洁净度。通过在超净工作台设置轴承和旋转盖板，保证托盘可以旋转装片，操作更加容易，不容易污染衬底。在超净工作台改进装片工具：增加了外置吸笔小泵，吸笔小泵的吸笔在工作台内，使用吸笔进行装片操作，避免使用镊子产生镊子印记，污染衬底，从而提升产品质量。

技术领域

本发明涉及一种提高金属有机物化学气相沉积设备生产效率的炉外装片方法，属于提升金属有机物化学气相淀积系统生产效率的技术领域。

背景技术

德国金属有机物化学气相淀积设备生产厂商爱思强(AIXTRON)生产的CRIUS II型金属有机物化学气相淀积(MOCVD)系统，该系统的核心工作主要是在反应室内完成，也就是在特定的压力和温度下，在反应室腔体内发生化学反应，形成化合物，再沉积到蓝宝石(Al₂O₃)衬底上，就产生了外延的产品-外延片。

整个生产流程是：在手套箱内的反应室上盖打开后，用吸笔向反应室内托盘的槽内放置衬底-衬底放置完毕，关闭反应室上盖-开始运行程序进行外延生长-长完后，打开反应室上盖-用吸笔将外延片从托盘槽内取出-用毛刷刷反应室上盖的灰尘-更换烘烤过的洁净托盘-用吸笔在手套箱内向托盘槽内放置衬底，整个流程，如图1所示，其中的装片操作基本都是在手套箱内部完成，在手套箱内部装片，因为要戴着厚厚的手套操作，特别不方便，装片速度又比较慢，而且还比较容易产生波长异常的外延片。

手套箱内装片，需要带一副塑胶手套，装一炉衬底55片，大约需要15分钟，时间太长，效率太低，如果在炉外装片大约需要7分钟左右，这样仅仅装片时间，就节约了一半时间。由于装片时手臂距离托盘槽的距离不同，所以装片时需要用手随时转动托盘，以便于更容易把衬底装入托盘槽内，由于手套箱内的灰尘比较多，手套上也会沾染灰尘，用手转盘的时候手套碰上托盘，很容易将托盘弄脏，会导致外延片表面有颗粒，进而影响外延片品质。手套箱内装片，由于手臂需要长期戴着手套，手臂会出很多汗，也比较累，操作时不容易一次将衬底完全放入槽内，导致第二次触碰衬底，这样容易污染衬底，也会导致外延片表面颗粒。

目前，德国金属有机物化学气相淀积设备生产厂商爱思强(AIXTRON)生产的CRIUSII型金属有机物化学气相淀积(MOCVD)系统，还都是在手套箱内部装片，这种办法效率低，外延片的质量差，需要进一步改善。

发明内容

针对现有技术的不足，本发明提供一种提高金属有机物化学气相沉积设备生产效率的炉外装片方法。本发明所述的方法用于提高金属有机物化学气相淀积系统生产效率、提高生产产量，具体的来说就是提高装片效率，缩短操作时间，减轻劳动强度。

本发明的技术方案如下：

一种提高金属有机物化学气相沉积设备生产效率的炉外装片方法，其特征在于，在金属有机物化学气相沉积设备外进行装片、再将整个托盘和衬底一起放入预装室，吹扫去除水氧、然后将托盘和衬底一起放入所述金属有机物化学气相沉积设备的反应室，进行生长。本发明所述方法可对德国金属有机物化学气相淀积设备生产厂商爱思强(AIXTRON)生产的CRIUS II型金属有机物化学气相淀积(MOCVD)系统进行改进，针对其在手套箱内部装片，效率低，外延片的质量差的现状，将手套箱内装片改为手套箱外装片，然后再将整个托盘和衬底一起放入预装室，进行吹扫，去除其中的水氧，然后直接将托盘和衬底一起放入反应室，进行生长。