[发明专利]一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板、显示面板在审
| 申请号： | 201711022421.4 | 申请日： | 2017-10-27 |
| 公开（公告）号： | CN107785440A | 公开（公告）日： | 2018-03-09 |
| 发明（设计）人： | 刘政;田宏伟;李小龙 | 申请（专利权）人： | 京东方科技集团股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L29/786 | 分类号： | H01L29/786;H01L29/417;H01L21/336;H01L21/34;H01L27/12 |
| 代理公司： | 北京同达信恒知识产权代理有限公司11291 | 代理人： | 郭润湘 |
| 地址： | 100015 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种薄膜晶体管及其制备方法、阵列基板、显示面板，用以简化薄膜晶体管制备工艺流程、降低薄膜晶体管制备工艺难度。本申请实施例提供的一种薄膜晶体管，该薄膜晶体管包括衬底基板、在所述衬底基板上设置的第一电极层和与所述第一电极层连接的有源层、在所述有源层之上依次设置的第一绝缘层、第二电极层、第二绝缘层、在所述第二绝缘层之上设置的第三电极层和第四电极层；所述第三电极层通过第一过孔与所述有源层连接，所述第四电极层通过第二过孔与所述有源层连接，所述第一过孔和所述第二过孔至少设置在所述第二绝缘层中，所述第一过孔和所述第二过孔从所述第二绝缘层延伸至所述有源层并且暴露所述有源层。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 薄膜晶体管 及其 制备 方法 阵列 显示 面板 | ||
【主权项】：
一种薄膜晶体管，其特征在于，该薄膜晶体管包括：衬底基板、在所述衬底基板上设置的第一电极层和与所述第一电极层连接的有源层、在所述有源层之上依次设置的第一绝缘层、第二电极层、第二绝缘层、以及在所述第二绝缘层之上设置的第三电极层和第四电极层；所述第三电极层通过第一过孔与所述有源层连接，所述第四电极层通过第二过孔与所述有源层连接，所述第一过孔和所述第二过孔至少设置在所述第二绝缘层中，所述第一过孔和所述第二过孔从所述第二绝缘层延伸至所述有源层并且暴露所述有源层。
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