[发明专利]含有氟化热酸产生剂的面漆组合物在审
| 申请号： | 201710991883.0 | 申请日： | 2017-10-23 |
| 公开（公告）号： | CN108017970A | 公开（公告）日： | 2018-05-11 |
| 发明（设计）人： | I·考尔;D·康;C·刘;G·波勒尔斯;M·李 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限责任公司 |
| 主分类号： | C09D133/10 | 分类号： | C09D133/10;C09D7/63;C09D7/65;C09D7/20;G03F7/004 |
| 代理公司： | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人： | 陈哲锋;胡嘉倩 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供面漆组合物，其包括：基质聚合物；表面活性聚合物；包含阴离子和阳离子的离子性热酸产生剂，其中所述阴离子、所述阳离子或所述阴离子和所述阳离子经氟化；和溶剂。还提供经涂布衬底和利用所述面漆组合物的图案形成方法。本发明特别适用于光刻工艺，在制造半导体装置中作为光致抗蚀剂面漆层。 | ||
| 搜索关键词： | 含有 氟化 产生 组合 | ||
【主权项】：
1.一种面漆组合物，其包含：基质聚合物；表面活性聚合物；包含阴离子和阳离子的离子性热酸产生剂，其中所述阴离子、所述阳离子或所述阴离子和所述阳离子经氟化；和溶剂。
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C09 染料；涂料；抛光剂；天然树脂；黏合剂；其他类目不包含的组合物；其他类目不包含的材料的应用
C09D 涂料组合物，例如色漆、清漆或天然漆；填充浆料；化学涂料或油墨的去除剂；油墨；改正液；木材着色剂；用于着色或印刷的浆料或固体；原料为此的应用
C09D133-00 基于有1个或多个不饱和脂族基化合物的均聚物或共聚物的涂料组合物，其中每个不饱和脂族基只有1个碳-碳双键，并且至少有1个是仅以1个羧基或其盐、酐、酯、酰胺、酰亚胺或腈为终端；基于此种聚合物的衍生物的涂料
C09D133-02 .酸的均聚物或共聚物；其金属盐或铵盐
C09D133-04 .酯的均聚物或共聚物
C09D133-18 .腈的均聚物或共聚物
C09D133-24 .酰胺或酰亚胺的均聚物或共聚物
C09D133-26 ..丙烯酰胺或甲基丙烯酰胺的均聚物或共聚物
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C09D133-00 基于有1个或多个不饱和脂族基化合物的均聚物或共聚物的涂料组合物，其中每个不饱和脂族基只有1个碳-碳双键，并且至少有1个是仅以1个羧基或其盐、酐、酯、酰胺、酰亚胺或腈为终端；基于此种聚合物的衍生物的涂料
C09D133-02 .酸的均聚物或共聚物；其金属盐或铵盐
C09D133-04 .酯的均聚物或共聚物
C09D133-18 .腈的均聚物或共聚物
C09D133-24 .酰胺或酰亚胺的均聚物或共聚物
C09D133-26 ..丙烯酰胺或甲基丙烯酰胺的均聚物或共聚物
