[发明专利]一种硅片自动分选设备在审
| 申请号： | 201710879427.7 | 申请日： | 2017-09-26 |
| 公开（公告）号： | CN109550704A | 公开（公告）日： | 2019-04-02 |
| 发明（设计）人： | 齐风;甄辉;徐艳超;徐长坡;陈澄;梁效峰;杨玉聪;李亚哲;黄志焕;王晓捧;王宏宇;王鹏 | 申请（专利权）人： | 天津环鑫科技发展有限公司 |
| 主分类号： | B07C5/10 | 分类号： | B07C5/10;B07C5/344;B07C5/342;B07C5/02;B07C5/36 |
| 代理公司： | 天津诺德知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 12213 | 代理人： | 栾志超 |
| 地址： | 300380 天津市西青区*** | 国省代码： | 天津;12 |
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| 摘要： | 本发明提供一种硅片自动分选设备，包括依次设置的上料部、检测部和下料部，检测部包括，传输机构：设置在检测部内，用于对硅片进行传输；定位机构：设置在传输机构的起始端，对出片篮的硅片进行定位；表面检测模块：设置在传输机构的侧面和上面，检测硅片表面的外观缺陷；几何参数检测模块：设置在检测部内，测量硅片的厚度；电阻率检测模块：设置在检测部内，测量硅片的电损耗。本发明的有益效果是通过集成皮带传输线、外观检测、几何参数检测、电阻率检测和激光打标等功能，实现硅片的自动、高效、准确地分选，有效的提高硅片检测分选的产能，保证硅片根据电阻率、厚度、外观等参数进行自由分选并且降低误检率等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 硅片 检测 传输机构 分选 几何参数检测 自动分选设备 测量硅片 电阻率检测模块 传输线 电阻率检测 表面检测 定位机构 硅片表面 激光打标 外观检测 外观缺陷 依次设置 电损耗 电阻率 起始端 误检率 下料部 产能 出片 上料 皮带 侧面 传输 自由 保证 | ||
【主权项】：
1.一种硅片自动分选设备，其特征在于：包括依次设置的上料部、检测部和下料部，所述检测部包括传输机构、定位机构、表面检测模块、几何参数检测模块和电阻率检测模块，其中，所述传输机构设置在所述检测部内，用于对硅片进行传输；所述定位机构设置在所述传输机构的起始端，用于对出片篮的硅片进行定位；所述表面检测模块设置在所述传输机构的侧面和上面，用于检测硅片表面的外观缺陷；所述几何参数检测模块设置在检测部内，用于测量硅片的厚度；所述电阻率检测模块设置在检测部内，用于测量硅片的电损耗。
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