[发明专利]一种条痕状形貌表征参数的测量方法及装置有效
| 申请号： | 201710772595.6 | 申请日： | 2017-08-31 |
| 公开（公告）号： | CN107561106B | 公开（公告）日： | 2020-06-05 |
| 发明（设计）人： | 苏恒;王琨;王猛;陈保友;芈健;陈子琪;刘隆冬;闫伟明;朱喜峰 | 申请（专利权）人： | 长江存储科技有限责任公司 |
| 主分类号： | G01N23/2251 | 分类号： | G01N23/2251;G01B15/00;G01B15/04 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 柳欣;王宝筠 |
| 地址： | 430074 湖北省武汉市东湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本申请公开了一种条痕状形貌表征参数的测量方法，用于对深孔蚀刻中条痕状形貌的严重程度进行量化测量，该方法包括：获取电子扫描显微镜输出的孔剖面图像，识别孔剖面图像中孔的中心点坐标；获取经过中心点坐标的n条直径的长度值，n为大于1的整数；计算n条直径的长度值的方差，将方差作为该孔的条痕状形貌表征参数。本申请还公开了一种条痕状形貌表征参数的测量装置。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 条痕 形貌 表征 参数 测量方法 装置 | ||
【主权项】：
暂无信息
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