[发明专利]一种条痕状形貌表征参数的测量方法及装置

权利要求书

1.一种条痕状形貌表征参数的测量方法，其特征在于，所述方法包括：

获取电子扫描显微镜输出的孔剖面图像，识别所述孔剖面图像中孔的中心点坐标；

获取经过所述中心点坐标的n条直径的长度值，n为大于1的整数；

计算所述n条直径的长度值的方差；

从所述n条直径的长度值中确定直径最大值以及直径最小值；

计算所述直径最小值除以所述直径最大值作为第一计算结果；

计算所述方差乘以所述第一计算结果再乘以预设值作为第二计算结果，将所述第二计算结果作为该孔的条痕状形貌表征参数。

2.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述方法还包括：

计算所述孔剖面图像中各个孔的条痕状形貌表征参数的平均值，作为所述孔剖面图像对应的条痕状形貌表征参数输出结果。

3.根据权利要求1所述的方法，其特征在于，所述识别所述孔剖面图像中孔的中心坐标，包括：

提取所述孔剖面图像中孔的边界，获得所述孔剖面图像中孔的边界点坐标；

利用该孔的边界点坐标计算获得该孔的中心点坐标。

4.根据权利要求3所述的方法，其特征在于，所述获取经过所述中心点坐标的n条直径的长度值，包括：

获取经过所述中心点坐标的n条直径与所述边界的交点坐标；

利用每条直径与所述边界的交点坐标计算获得经过所述中心点坐标的n条直径的长度值。

5.一种条痕状形貌表征参数的测量装置，其特征在于，所述装置包括：

第一获取单元，用于获取电子扫描显微镜输出的孔剖面图像；

识别单元，用于识别所述孔剖面图像中孔的中心点坐标；

第二获取单元，用于获取经过所述中心点坐标的n条直径的长度值，n为大于1的整数；

第一计算单元，用于计算所述n条直径的长度值的方差；

第二计算单元，用于从所述n条直径的长度值中确定直径最大值以及直径最小值；计算所述直径最小值除以所述直径最大值作为第一计算结果；计算所述方差乘以所述第一计算结果再乘以预设值作为第二计算结果，将所述第二计算结果作为该孔的条痕状形貌表征参数。

6.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述装置还包括：

第三计算单元，用于计算所述孔剖面图像中各个孔的条痕状形貌表征参数的平均值，作为所述孔剖面图像对应的条痕状形貌表征参数输出结果。

7.根据权利要求5所述的装置，其特征在于，所述识别单元具体用于：

提取所述孔剖面图像中孔的边界，获得所述孔剖面图像中孔的边界点坐标；

利用该孔的边界点坐标计算获得该孔的中心点坐标。

8.根据权利要求7所述的装置，其特征在于，所述第二获取单元具体用于：

获取经过所述中心点坐标的n条直径与所述边界的交点坐标；

利用每条直径与所述边界的交点坐标计算获得经过所述中心点坐标的n条直径的长度值。